高性能リニアステージ『τ Linear Stage』
サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現!カスタムメイド対応可能
『τ Linear Stage』は、リニアサーボモータを搭載した高精度ステージです。 X/XYステージを標準ラインアップし、ダイレクトドライブモータ τDISCをθ軸として搭載したXθ/XYθステージの構築も可能。 多ヘッドステージ、XYZ軸ステージ、保護カバー付きステージなど、 お客様の装置仕様にジャストフィットするリニアステージをご提供します。 【特長】 ■高性能保証(オプション) ■豊富なラインアップ ■カスタムメイド対応可能 ■高品質(充実した測定環境体制) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:CKD日機電装株式会社
- 価格:応相談