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M3-LSシリーズはコントローラを内蔵した小型高精度リニアステージです。駆動機器も筐体に内蔵。外部ボード不要。OEM組込みに最適
◆一体型スマートモジュール：別途の電子機器が不要 ◆超小型サイズ：29 × 20 × 10 mm ～ 32 × 32 × 11 mm（コントローラ含む） ◆高分解能： 0.5 µm ◆長いストロークでのモーションに対応： 6 mm、8 mm、15 mm ◆低電圧、低電力設計
【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で50mm動作の高性能位置決めステージ
真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。
アイロンコア3相リニアモータ！駆動力を摩擦プラットフォームに伝達するコンパクト設計のPIMag リニアステージ
『V-408』は、3相の磁気ダイレクトドライブはドライブトレイン内で 機械部品を使用しないため、駆動力を摩擦プラットフォームに 伝達するPIMag リニアステージです。 クロスローラーガイドにより、ボールガイドのボールの点接触ではなく 強化ローラーが線で接触するようになっています。 これにより剛性が著しく増すとともに必要なプリロードが抑えられているため、 摩擦が低減しスムーズな動作が可能。クロスローラーガイドには、 ガイド精度が高く耐荷重が大きいという特長もあります。 【特長】 ■アイロンコア3相リニアモータ ■高耐荷重のクロスローラガイド ■最小インクリメンタルモーション 20nm ■双方向繰り返し性 ±0.1μm ■コンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現！カスタムメイド対応可能
『τ Linear Stage』は、リニアサーボモータを搭載した高精度ステージです。 X/XYステージを標準ラインアップし、ダイレクトドライブモータ τDISCをθ軸として搭載したXθ/XYθステージの構築も可能。 多ヘッドステージ、XYZ軸ステージ、保護カバー付きステージなど、 お客様の装置仕様にジャストフィットするリニアステージをご提供します。 【特長】 ■高性能保証（オプション） ■豊富なラインアップ ■カスタムメイド対応可能 ■高品質（充実した測定環境体制） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
10nm分解能で位置決め！単軸、多軸に対応したリニアステージ
FBリニアステージは、単軸および多軸アプリケーションで使用できます。 ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波（ピエゾ）モータを利用しています。 ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。 エンコーダの分解能は、0.1μｍ、1μｍ、0.5μｍ、50nm、10nmの中から選択可能です。
マシン仕様にJust-Fit！カスタムメイドリニアステージ実例を多数掲載
当資料は、進化型リニアステージ『τ Linear Stage』の カスタムメイド実例集です。 「Xステージ」をはじめ、「X2ヘッドステージ」、「XYステージ」、 「円弧型ステージ」などカスタムメイドリニアステージ実例を豊富に掲載。 CKD日機電装は、お客様のマシン仕様にジャストフィットする高品質な リニアステージをご提供いたします。ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■特長 ■カスタムメイドリニアステージ実例 ■リニアステージ生産体制 ■位置決め精度校正システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
