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XY電動ステージとオートフォーカス機能を搭載！ソフトウェアなどのカスタマイズも対応
『TOMOS-60XY』は、ワークの複数箇所を自動測定できる6インチ電動 XYステージ 両面顕微鏡システムです。 あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、 MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークの ずれを自動測定することが可能。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載し、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【特長】 ■円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを 自動検出し、中心座標同士のずれを測定 ■XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数個所を自動測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
8インチ電動XYステージとオートフォーカス機能を搭載！正確に移動制御し測定エラーを防止
『TOMOS-80XY』は、あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、 MEMS、半導体ウェハなどの表裏パターンやアライメントマークのずれを 自動測定できる両面顕微鏡システムです。 円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを自動検出し、 中心座標同士のずれを測定。XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数箇所を自動測定します。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載しており、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【ソフト機能(抜粋)】 ■表裏光軸補正 ■表裏レンズ倍率補正 ■カメラ取付θずれ補正 ■表裏位置ずれ自動計測 ■電動ステージ制御、マップ移動制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
顕微鏡表裏の光軸ずれ､対物レンズ倍率のバラツキ､カメラのθずれを画像で補正！
当社で取り扱う、両面顕微鏡システム『TOMOSシリーズ』について ご紹介いたします。 4インチステージの「TOMOS-50」、6インチステージの「TOMOS-60」を はじめ、広視野リング照明付きの「TOMOS-50R1」などをラインアップ。 水晶振動子、MEMS、電子部品などの表裏を同時に撮影します。 表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能です。 【TOMOS-50/60 特長】 ■水晶振動子、MEMS、半導体ウエハ、電子部品の表裏を同時に撮影 ■表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度 ±0.3μm精度で測定可能 ■表裏顕微鏡の光軸ずれ、レンズ倍率誤差、カメラθずれを高精度に 画像処理補正 ■オートフォーカス機能、電動XYステージにも対応(オプション) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
