IPAベーパー凝縮置換乾燥装置
極薄Siデバイス製造の乾燥に適したIPAベーパー凝縮置換乾燥装置
当社では、各種半導体・電子デバイス製造プロセスで共通の問題である 基板表面のウォーターマーク発生の抑止をターゲットに、鋭意改善を進め 開発したIPAベーパー乾燥装置をご提案します。 また、本装置は清浄な乾燥を要求する光学・凹凸部品等において、 乾燥させるのと同時に蒸留されたIPAにより、清浄度の高い仕上げ洗浄を行う 合理的な洗浄・乾燥装置です。 【特長】 ■世界最大クラスのシェア ■安全設計 ■ウォーターマークレス乾燥 ■クリーン乾燥 ■幅広い乾燥物の乾燥が可能 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：ワイエイシイメカトロニクス株式会社 つくば事業所 PV事業部
- 価格：応相談
