分光エリプソメーター GES5E
薄膜光学特性を非破壊で測定！ 手軽に高精度測定できる分光エリプソメトリー
日本セミラボの分光エリプソメーター『GES5E』は、従来の光学測定器では不可能だった薄膜光学特性の測定を非破壊で実現しました。 薄膜、多層膜の膜厚、各層の屈折率（N K値）波長分散を算出。研究開発からインライン生産品質管理ほかあらゆる分野で活躍しています。 【測定可能な物理特性】 ■厚さ光学屈折率 ■屈折率の勾配と材料組成 ■ドーパント濃度
- 企業：日本セミラボ株式会社 新横浜本社
- 価格：応相談
