小型卓上スピンコーター『HO-TH-05』
9つのステップを持つ9つのプリセット編集可能プログラムのメモリが搭載!
『HO-TH-05』は、研究室で小型基板をスピンコーティングするための 専用卓上システムで、スピンプロセスパラメータが適切に制御されています。 高速で持続時間範囲が広いため、ユーザーはフィルムの希望の厚さまたは 薄さを実現でき、スピンヘッドアクチュエータは高精度のDCサーボモーターで、 メンテナンスが少なく、正確な回転速度と加速度制御が可能です。 また、オイルレス真空ポンプで駆動する真空チャックが、基板をスピンヘッドに 吸着保持します。 【特長】 ■チャック径:14mm、22mm、36mm(Oリング外径) ■透明な観察窓付き安全蓋(塗布材料滴下用穴Φ28mm付き) ■不揮発性プログラムメモリ ■ユーザーフレンドリーな設計 ■LCDパネルバックライト電源オン/オフスイッチ ■不活性ガスパージ用の入口と出口、外径8mmチューブ接続 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:株式会社イーエッチシー
- 価格:応相談