P/N判定、比抵抗測定仕分機(CJT-01型)
Siウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定
φ4”、5”、6”、8”インチSiウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定、比抵抗測定を行いその結果によりあらかじめレシピにて設定したカセットに仕分けを行います。
- 企業:株式会社ジャステム
- 価格:応相談
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Siウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定
φ4”、5”、6”、8”インチSiウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定、比抵抗測定を行いその結果によりあらかじめレシピにて設定したカセットに仕分けを行います。
シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。
シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。 当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。
大口径のシリコーンウェーハ測定機
・シリコンウェーハの厚さ測定を非接触にて行います。 ・測定器はレーザ測長器を使用して厚さを測定します。 ・厚さ測定データはPCに保存されます。
シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定したポイントの厚さを計測する装置です。
・静電容量センサーにより非接触にて、ウェーハ厚さ測定を行います。 ・レシピ設定によりウェーハサイズ変更が可能で、段取り替え作業は不要です。 ・測定ポイントは中心1点、十字測定をレシピにて設定します。十字測定時のポイント数、位置の指定も可能です。 ・測定したデータは、付属パソコンに保存します。
本機械はφ8”シリコン製ウエハの厚さ測定を行う装置です
Siウェーハの厚さ及びSi段差部の各種測定を非接触、自動測定を行う装置です。
JISに対応した厚さ測定機です。フイルム、紙、ゴム、織物・編物など、それぞれの試験規格に基づいた仕様をお選びいただけます。
●JIS Z 1702(フィルム)、P 8118(紙)、JIS K 6250*(ゴム)、L 1096(織物・編物)などに基づいた仕様(圧子直径・加圧力)で製作可能。(※硬さ IRHD以上) ●測定結果は小型プリンターに出力。 ●PC*にデータを転送可能。(※PC、ソフトウェアはオプション)
大人気のTMEシリーズ
□TME-02A型/TME-02B型□ シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。 当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。 バーコードリーダを装備し、読み取ったバーコードナンバーをExcelの指定セルに保存可能です。 □TME-03型□ シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハ搬送及び測定ステージ部でのチャックは、バキュームを使用し裏面をチャックします。
本機械は、φ4、5、6、8インチウェーハの厚さ測定する装置です。
厚さ測定は、レシピによる多点測定を行います。 測定センサは分光干渉方式のセンサを用いて片側より測定を行います。
レーザーディスクの厚さを測定(接触/非接触共)、評価システム内にて使用します
電圧・電流値、温湿度、圧力等各種測定及びデータ処理のシステムを構築します。 また、計測技術の上に立脚したコスモテックの検査装置は、 お客様の生産現場で品質保証の中核として活躍させていただいております。 【構成】 ○CPU:Z80 4MHz ○ROM:4Kbyte ○RAM:1Kbyte ○I/O:TTL,6Port ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。