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NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM
『Park NX-3DM』は、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁 イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムの 原子間力顕微鏡(AFM)です。 傾斜Zスキャナを備えた特許取得済みの分離型XYおよびZスキャン システムにより、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の 課題を克服します。 【ウエハファブ用で必須なツール】 ■高度で正確なPark NX技術を用いた完全自動産業用AFM ■アンダーカットやオーバーハング構造のためのチルトヘッドデザイン ■サンプル前処理不要で正確な側壁粗さ計測 ■完全非接触モード(TM)により、装置とサンプルにダメージを与えずに 高品質のイメージが得られる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定 ■真の非接触モードによるコスト削減 ■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
C-AFMやKFM、sMIMなどの測定モードで最大100mm角のサンプルに対応
導電性AFM、ケルビンプローブフォース顕微鏡法（KFM）、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡法（sMIM）などの機能に加え、4インチまでのサンプルに対応。 ■サンプルサイズ ：最大100 mm角 ■ステージ移動距離 ：100 mm ■XY走査範囲 ： 100 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■Z走査範囲 ： 9 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■XY走査分解能 : 24ビット制御 – 0.06 Angströms ■Z走査分解能 : 24ビット制御 – 0.006 Angströms ■ノイズレベル ：Typ : <0.01 mV RMS
表面形状の測定を短時間・簡潔に！防塵・防風用シールド、防振機構が標準搭載
『NaioAFM』は、表面形状の測定に必要な要素技術を標準搭載しつつ、 装置のセットアップやカンチレバー交換が簡単に行えるなど、 機能性と操作性を両立したコンパクトタイプの原子間力顕微鏡です。 スキャン前に必要な再チューニングやサンプルへのアプローチ、 サンプル平面の傾斜補正はソフトウェアが自動的に行うため、 サンプルにカンチレバーを近づければ、スキャンが開始されます。 【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載・場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加が可能 ■お客様先に装置を持参してのデモも受付中 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 デモをご希望の方はお問い合わせフォームよりお申込み下さい。
非常に優れた分解能、スピード、操作性、柔軟性を備えた、大型サンプル対応ステージ型 AFM/SPM（原子間力顕微鏡）
Jupiter XR 原子間力顕微鏡は、スキャナを交換することなく、単一スキャナで「超高分解能」「高速イメージング」「広域スキャン」に対応した業界初の大型試料対応AFM/SPMです。試料ステージは200 mm試料全域へのアクセスを可能にし、Cypher AFM (2007年発売) で培われた卓越した基本設計と操作性、さらに光熱励振 『blueDrive』を踏襲しました。分析分野や産業R&D・学術研究分野など、多様なサンプル・アプリケーションが要求される用途において、高いレベルでバランスの取れたJupiter XRは最良の選択です。
