シリコンウェーハ向け研磨スラリー『Nanopureシリーズ』
シリコンウェーハの1次・2次・仕上げ・エッジ研磨用のスラリー
『Nanopure(TM)シリーズ』は、ニッタ・デュポン株式会社が製造する 高品質なシリコンウェーハ用ポリッシングスラリーです。 高平坦性、低欠陥、高生産性などの優れた研磨性能を安定して発揮します。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【概要】 ■シリコンウェーハの1次・2次及びFinal研磨やエッジ研磨に好適 ■アルカリ性コロイダルシリカベーススラリー ■高研磨レート、高平坦性、低欠陥性を安定して発揮 ■用途にマッチングした豊富なラインアップ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：アンカーテクノ株式会社
- 価格：応相談
