静電気対策専用 DLCコーティング『THORスリック』
低温処理による高い被膜密着性と低発塵性！表面抵抗値別製品をラインアップ
ESD対策専用DLC コーティング『THORスリック』は、帯電によって起こるダスト等吸着による生産性低下 などの不具合対策に活用できる製品です。 低温処理で高い被膜密着性と低発塵性。色調は黒色で、耐摩耗性や耐食性、 耐焼付性を有しています。 半導体製造前工程のウエハホルダやウエハ搬送アーム、吸着ステージなど 幅広い用途でご使用いただけます。 【特長】 ■低温処理で高い被膜密着性と低発塵性 ■緩やかなESD放電曲線 ■表面抵抗値別製品をラインアップ ■耐摩耗性・耐焼付性・耐食性を有する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社
- 価格：応相談
