低温処理による高い被膜密着性と低発塵性！表面抵抗値別製品をラインアップ
ESD対策専用DLC コーティング『THORスリック』は、帯電によって起こるダスト等吸着による生産性低下 などの不具合対策に活用できる製品です。 低温処理で高い被膜密着性と低発塵性。色調は黒色で、耐摩耗性や耐食性、 耐焼付性を有しています。 半導体製造前工程のウエハホルダやウエハ搬送アーム、吸着ステージなど 幅広い用途でご使用いただけます。 【特長】 ■低温処理で高い被膜密着性と低発塵性 ■緩やかなESD放電曲線 ■表面抵抗値別製品をラインアップ ■耐摩耗性・耐焼付性・耐食性を有する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【被膜特性（抜粋）】 ■色調：黒色 ■硬さ：1000～2200 Hv ■処理温度：＜150 ℃ ■摩擦係数：0.10～0.20 ■膜厚：1.0～2.0 μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造前工程：ウエハホルダ、ウエハ搬送アーム、吸着ステージ等 ■半導体製造後工程：パーツフィーダー、ガイド、プローブピン、検査装置、テーブル等 ■その他精密部品製造装置部品のESD対策に ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
あらゆる産業分野において、コストダウン、省資源化、用途の多様化、 更には環境汚染防止などに対応できる表面改質技術の要求はますます高まってきております。 日本コーティングセンター株式会社（ＪＣＣ）は、“お客様にご満足頂ける技術のご提供”をモットーに、 お客様のさまざまなニーズにお応えする各種表面改質処理技術をご提供してまいりました。 品質・機能面においてもいちはやくISO9001認証を取得。 常にすぐれた品質システムと新しい技術の追求に積極的に取り組んでいます。