接触式 抵抗測定器『WS-8800』
ウエハ搬送ロボット搭載による4探針法!全自動測定ソーター
『WS-8800』は、フルオートタイプ(全自動測定システム)の接触式 抵抗測定器です。 厚さ測定、PN測定、温度測定に対応可能です。(シリコンウエハ) カセット数はいくつでも対応することができます。 また、お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。 【特長】 ■全自動 ■セルフテスト機能、広範囲測定レンジ ■厚さ・周辺位置・温度補正機能(抵抗率(比抵抗)測定) ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
- 企業:ナプソン株式会社
- 価格:応相談