ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置
ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置
オプションでオゾン水（20ppm）やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。 その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。
- 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
- 価格：応相談
枚葉スピン洗浄機 - 企業2社の製品一覧
製品一覧
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ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置
ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です！
省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。 メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減します。（特許第3558543)
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
