ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置
ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置
オプションでオゾン水（20ppm）やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。 その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。
- 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
- 価格：応相談
枚葉スピン洗浄機 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
枚葉スピン洗浄機の製品一覧
1～3 件を表示 ／ 全 3 件
表示件数
枚葉式スピン洗浄装置
多彩なチャンバー形態で様々なプロセスニーズに対応！ワークサイズは2インチ～12インチウェハ
「枚葉式スピン洗浄装置」は、超音波スプレーノズル、二流体スプレー ノズル、高圧JETノズル、オゾン水なども搭載可能で、用途に合わせた 処理が可能な製品です。 ワークサイズは、2インチ～12インチウェハに対応します。 また500mm角までの角基板にも対応可能(要ご相談)。 酸系・アルカリ系・有機系の各プロセスモジュールによる 装置構成ができます。 【特長】 ■多彩なチャンバー形態で、様々なプロセスニーズに対応 ■ワークサイズは、2インチ～12インチウェハに対応 ■500mm角までの角基板にも対応可能(要ご相談) ■酸系、アルカリ系、有機系の各プロセスモジュールによる装置構成が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社LC 立川本社、青梅工場
- 価格：応相談
枚葉式スピン洗浄装置
複数のチャンバー形態で、複合プロセスニーズに対応した枚葉マルチスピンプロセッサー！
当社で取り扱っている「枚葉式スピン洗浄装置」について ご紹介いたします。 ワークサイズはΦ2"～12"ウェハ、または角基板 (最大600mm□まで対応可能)。 サイズ変更による段取り替えは不要です。 自動タイプでは、カセットをローダーにセットすると、 クリーンロボットがワークを搬送し、薬液処理・リンス・ スピン乾燥を自動で行います。手動タイプでは、ワークを 手動でチャックにセットし、同様の工程を実施できます。 【仕様(一部)】 ■ワーク材質 ・Si、SiC、GaN、GaAs、InP、LT/LN、セラミック、水晶、樹脂、ガラス、SUS板等 ■薬液タンク：本体両側面に薬液供給タンクおよび廃液タンク内蔵可能 ■PVAディスクブラシ搭載可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社LC 立川本社、青梅工場
- 価格：応相談
