枚葉スピン洗浄機×株式会社カナメックス - 企業1社の製品一覧

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

オプションでオゾン水（20ppm）やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。 その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。

• 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置