【半導体薄膜向け】結晶構造解析『CrystalDiffract』
リートベルト法で薄膜の粉末回折データを精密化
半導体薄膜の分野では、薄膜の構造解析が製品の品質と性能を左右する重要な要素です。CrystalMakerでシリコン、GaN、SiCなどの半導体薄膜の結晶構造を可視化し、CrystalDiffractで粉末・薄膜X線回折の理論パターンを生成して実測データと照合することで、結晶相同定・配向性・格子定数の評価が可能です。エピタキシャル成長の最適化やデバイス開発に活用できます。 【活用シーン】 ・薄膜の結晶構造解析 ・多層膜の構造評価 ・薄膜材料の組成分析 【導入の効果】 ・薄膜の構造に関する正確な情報が得られる ・デバイス設計の最適化 ・研究開発の効率化
- 企業:株式会社ヒューリンクス
- 価格:応相談