減圧乾燥機(粉体) - メーカー・企業と製品の一覧

減圧乾燥装置「VD-500S」

タッチパネル制御によりレシピ操作ができる減圧乾燥装置です

「VD-500S」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を 減圧乾燥する装置です。「VD-400」よりチャンバーサイズがひと回り大きい仕様です。 【特長】 ・タッチパネル制御による操作の簡易化 ・レシピ操作有り（操作手順の再現化が可能） ・２段階排気により風紋や発泡を抑えた乾燥の実施 ・バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能 【主な仕様】 ○チャンバー ：外寸法　580mm x 480mm　高さ103mm（蓋閉時） 　　　　　　　 内寸法 530mm x 430mm 高さ53mm ○真空：到達真空度　約1Pa以下（無負荷時） ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。