半導体業界向け金属イオン溶出の無い自動着脱装置(タンクボトム用)
金属イオン溶出の無い自動着脱用コネクタ(特許技術)を用いてウェハ洗浄液の着脱作業を自動化します
電子材料製造工場における、洗浄液投入作業の自動化ソリューションをご提案いたします。 貴社の生産現場において、原料ラインから移動槽、そして移動槽から充填機へと続く一連の洗浄液投入工程を、自動化することが可能です。 本製品の最大の特長は、接液部すべてにPTFE(フッ素樹脂)を採用した「自動着脱コネクタ」である点です。 これにより、製造プロセスにおける金属イオンの溶出を完全にゼロに抑えることができ、極めて高い純度が求められる半導体材料製造においても安心してご使用いただけます。 また、内弁はPTFEの一体成形構造となっております。 継ぎ目がないため洗浄性が非常に高く、メンテナンス負荷の軽減にも大きく貢献します。 なお、ご用途に合わせて接液部をPVC(塩化ビニル樹脂)で製作することも可能です。 本技術は、半導体業界のみならず、高い耐薬品性が求められる製薬業界などの強酸(塩酸)ラインにおける配管自動切換装置としても、すでに多くの導入実績がございます。 貴社の生産効率向上と品質安定化を強力にサポートいたします。
- Company:ナブテスコサービス株式会社 産業機械部
- Price:応相談