【半導体製造装置向け】特殊セラミック部品
エッチング・CVD工程に。高い熱伝導率と耐プラズマ性を提供
半導体製造装置業界では、高温環境下での部品の耐久性が求められます。特に、エッチング工程やCVD工程においては、高い熱負荷に耐え、かつ異物発生を抑制することが重要です。当社の特殊セラミック部品は、これらの課題に対応し、装置の安定稼働に貢献します。 【活用シーン】 ・エッチング工程 ・CVD工程 ・半導体製造装置内部の耐熱部品 【導入の効果】 ・高い熱伝導率による温度管理の最適化 ・耐プラズマ性による部品の長寿命化 ・異物発生の抑制による歩留まり向上
- 企業:千代田交易株式会社
- 価格:応相談