基板研削用ダイヤモンドホイール 「ナノメイトプレミアム」
優れた砥粒保持力・砥粒分散性!生産性が向上するダイヤモンドホイール
基板研削用ダイヤモンドホイール 「ナノメイトプレミアム」での2軸(粗、仕上げ)研削はラッピング加工に対して数百倍の生産性を向上します。 #2000(平均粒径9μm)粗研削による連続加工では、送り速度120um/minでの連続加工を達成。 #8000(平均粒径0.5μm)仕上げ研削による連続加工では、低負荷加工と低砥石摩耗の両立を実現します。 【特徴】 ○優れた砥粒保持力(濡れ性の良いボンド) ○優れた砥粒分散性 ○ドレッシング不要 ○ラップ加工面並みの加工面品位 ○極薄ウェーハによるデバイス特性の向上 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業:株式会社アライドマテリアル 営業企画部
- 価格:応相談