自動スピン剥離装置 - メーカー・企業と製品の一覧

枚葉自動スピン剥離装置

本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能

カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。

• 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置