超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU
超高真空仕様ターボ分子ポンプ
超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ
- 企業:株式会社大阪真空機器製作所
- 価格:応相談
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超高真空仕様ターボ分子ポンプ
超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ
低~超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
広領域排気 低~超高真空まで広領域の排気に対応しています。
標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様(極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様)もラインナップ!
広領域排気:低~超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
低~超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
広領域排気:低~超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在かつ、パワーサプライ一体化でコンパクト。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
大気突入に強く、取付姿勢自在も可能なターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在かつ、パワーサプライ一体化でコンパクト。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ
反応生成物対策仕様 TG2400MI もラインナップしています。
低~超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
○取付姿勢自由自在 取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大! ○優れた耐久性 独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い! ○急速ベント停止 ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。 ※一部対応外の機種があります。 ○メンテナンスフリー 日々のメンテナンスの必要がありません。 定期的なオーバーホールで、より長くお使いいただけます。
放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ!
放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。 大強度陽子加速器施設(J-PARC)などに納入!
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低~超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低~超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低~超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低~超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低~超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低~超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低~超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
腐食性ガスの排気に対応。 ダストに強い構造でダスト混入によるポンプトラブルが少ない。 大気突入に強い堅牢設計。
小型から大型まで幅広いクラスをラインアップしております。 ご用途に合わせて排気速度200L/s~5500L/sクラスから最適なポンプを選択頂けます。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低~超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低~超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着すると更に1桁低減(0.1nm)!
高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。
独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を大幅に減少!
外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上!! ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。