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「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！
当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。 【特長】 〈デュアルゲートバルブ〉 ■完全水平移動の為、Oリングの擦れが無い ■左右の独立駆動によりPM/TMチャンバーのメンテナンス性が向上 ■コンパクト設計(シングルバルブと同サイズ) ■開口45×450mmに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命化を可能に
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック
角型ゲートバルブ『 コスラーズ 』
■片面シール Normal type 『無摺動』を設計思想として開発し､ 発展させたゲートバルブです。 誕生以来その確かな性能を評価され、 現在では様々な市場､ 環境で御使用頂いております。 開口サイズ、圧力条件、高温対応、弁箱有無等々 お客様の多種多様なニーズに合わせてカスタマイズ致します。 【特長】 ・パーティクルフリー ・シンプルな構造 ・長寿命（自社ベローズ採用） ■両面シール seal 方向切替 type Normal type に更なる機能を持たせたゲートバルブです。 seal 方向をトランスファーチャンバー側へ切り替えることにより、 大気開放するプロセスチャンバー以外の真空を保持､ それによりプロセスチャンバーのメンテナンス中も 装置の稼働を継続できます。 その状態でプロセスチャンバー側の 弁板 seal 用 O-ring の交換も容易に可能です。 【特長】 ・高負荷プロセス向け ・弁体イージーメンテナンス ・長寿命（自社ベローズ採用）
