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透過型電子顕微鏡(温度測定) - メーカー・企業と製品の一覧

透過型電子顕微鏡の製品一覧

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技術情報誌 202001-01 in-situ STEM

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。

【要旨】 近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ(magnetic tunnel junction)構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元素分布の変化過程をnmレベルで分析した事例を紹介する。 【目次】 1.はじめに 2.試料と評価方法 3-1.結晶性の変化 3-2.結晶配向の解析 3-3.面内結晶配向の解析 4.まとめ 5.謝辞 6.おわりに

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技術情報誌 201910-03 in-situ 昇温手法

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。

【要旨】 LIB正極活物質LiCoO2について、TPD-MSによるガス分析とin-situ 昇温TEM法の2つのin-situ 昇温手法を用いて、昇温時におけるLiCoO2粒子の発生ガスと形態・組織・構造変化の関係性を調査した。その結果、ガス発生は構造変化と密接な関係にあることが示された。充放電挙動と酷似した変化も認められ、温度をパラメータにした一連の測定結果は、実材料を解析する上でも重要な知見になること、また、高分解能(40nm角程度の視野)でないと検出できない微視的構造変化(ドメイン構造の形成など)について、ASTAR*(*ASTARはNanoMEGAS社の登録商標)を用いることで1μm角以上の視野で可視化でき、定量的に解析できることを示した。 【目次】 1.はじめに 2.実験方法 3.TPD-MSを用いたガス発生挙動の観測 4. in-situ昇温TEM法による組織変化の観察 4-1. STEM像における形態・組織変化の観測 4-2. HRSTEM像における結晶構造変化の観測 4-3. 650℃以上の形態・組織・構造変化の観測 5. まとめ

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