更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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任意断面のEBIC測定で特徴があった箇所の直交断面観察
EBICとEBSDで電気的性質と結晶の関連性についての知見が得られますが、情報の深さが異なります。EBIC分布測定で電気的性質が特徴的であった箇所について、直交断面を作製し、奥行き方向のSTEM像観察を行いました。また、各結晶粒について電子回折を測定しました。これにより、電気的性質と結晶粒・結晶粒界の関係がより一層、明らかになりました。STEM観察および電子回折測定を行うことにより、特定箇所の結晶粒について局所的な情報を得ることが可能です。
SEM-ECCI法を用いると容易な前処理で観察可能に！単結晶GaNの測定事例もご紹介
当社では、SEM-ECCI法によるGaNの転位観察を行っております。 窒化ガリウム（GaN）等のパワー半導体において、製造時に含まれる転位は デバイス性能の低下や短寿命化の要因とされています。 半導体の転位観察は主に透過電子顕微鏡（TEM）やエッチピット法が用いられますが、 SEM-ECCI法を用いると容易な前処理で観察可能となります。 【測定事例】 ■供試材：単結晶GaN（サファイア基板上にGaNを成膜したウェハ） ■面方位：C面（0001）±0.5° ■GaN膜厚：4.5±0.5μm ■測定条件：後方散乱モード ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クライオSEMを用いた液体状試料の断面構造観察
液体に分散させて用いる微粒子の粒径・構造を評価する際、従来は液体を乾燥させて粉体として微粒子を取り出し、電子顕微鏡を用いて測定しておりました。しかしながら、実際に用いる液体中で微粒子がどのように分散しているのかを調べるには不向きな測定法でした。 そこで、液体試料内で微粒子がどのように分散しているかを直接評価するため、クライオ加工＋SEM観察を行って評価した事例をご紹介します。
試料領域での点分析、線分析、マッピングなどの分析もでき、多機能な成分分析も可能です
一般財団法人東海技術センターは『電子顕微鏡による形態観察・成分分析』を 承っております。 手間と時間のかかる前処理なしで観察ができるため、観察までの時間短縮と 観察後の成分分析の評価がしやすくなりました。 また、形態観察と同時に異なる組成の分布状態がわかる組成観察も可能。 試料中の測定したい2点間の距離計測もできます。 【特長】 ■手間と時間のかかる前処理なしで観察ができる ■形態観察と同時に異なる組成の分布状態がわかる組成観察もできる ■試料中の測定したい2点間の距離計測も可能 ■試料領域での点分析、線分析、マッピングなどの分析も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
SEMによる電子線誘起電流法・結晶方位解析
CIGS薄膜多結晶太陽電池は低コスト次世代太陽電池として期待されています。大面積化、高品質化のための開発が進められています。多結晶薄膜の特性を評価するため、EBICによるpn接合の評価・EBSD法による結晶粒評価を同一断面で行いました。CIGS膜の断面を作製し、電子ビームを走査することによって、起電流（EBIC）を測定し、起電流の面内分布を可視化しました。また、同一面のEBSDを測定することにより、起電流の分布と結晶粒との対応をとりました。
金属組織観察や相解析などTEM、FE-SEM、EBSD等による断面観察および構造解析に関する事例を多数ご紹介します！
当事例集では『断面観察及び構造解析』にかかる事例についてご紹介します。 「線材（ばね材）の金属組織観察」、「2相ステンレスの相解析」、「STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価」の目的や手法、結果などを含めた分析事例を多数掲載。 他にも、観察や相解析、絶縁膜分析や測定などご紹介しています。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■線材（ばね材）の金属組織観察 ■2相ステンレスの相解析 ■STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価 ■サマリウムコバルト磁石のEBSD測定 ■STEMによるコネクタ端子接点不良解析 ■生体試料（モルフォ蝶鱗粉）の断面観察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低加速STEM観察とEELS測定による有機材料の分布状態評価
低加速STEM観察とSTEM-EELS面分析により、バルクへテロ接合型太陽電池の活性層の混合状態の評価を行いました。評価にはITO上に活性層のみを成膜した試料を用いました。 低加速STEM像（写真1）のコントラストはSTEM-EELS像のS、 Cの元素分布(写真2、 3)と対応しており、バルクヘテロ構造を反映していることが確認できました。また、Sの分布に偏りが認められ、表面側にP3HTが偏析していることも示唆されました。
活物質の粒径・結晶方位評価、原子レベル観察が可能
リチウムイオン二次電池は充放電によるイオンの脱離・挿入などで電極活物質に成分や結晶構造の変 化が生じます。正極活物質として用いられるLi（NiCoMn)O2（NCM）の構造評価として、EBSDにより一次粒子の粒径や配向性を評価しました。更に、方位を確認した一次粒子について高分解能STEM観察を行 い、軽元素（Li、O）の原子位置をABF-STEM像で、遷移金属（Ni、Co、Mn）の原子位置をHAADF-STEM像で可視化した事例を紹介いたします。 測定法：SEM・EBSD・TEM 製品分野：二次電池 分析目的：形状評価、構造評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
前処理・分析技術を駆使して課題解決！種々の材料解析と分析評価で開発を支えます
当社は、データ解析(AI/機械学習等)を活用し、製品の付加価値向上や 業務改善をサポートいたします。 目前にある課題やお困りごとを、材料開発、分析、データ解析の専門家が スピーディーに解決。 専門家集団がプロジェクトを組みワンストップでご要望にお応えします。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【当社の主な保有設備】 ■FE-TEMTEM(3D、プリセッション)、FE-SEM 、FE-EPMA ■FT-IR、ラマン、NMR、AFM、レーザー顕微鏡 ■X線CT、XPS、XRF、XRD ■TG/DTA(水蒸気ガス化)、DSC ■GC(MS)、LC(MS)、TOFMS、HPLC、IC、ICP、GPC、DART、AAS ■VMS等各種磁気測定装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
乳化粒子や無機粉体の形状確認が可能！リキッドファンデーションの塗膜をマクロからミクロまで可視化
当財団が分析した、X線CT・クライオSEMによる化粧品の3D観察の事例を ご紹介します。 プラスチック基材に塗布したリキッドファンデーションをX線CTおよび クライオSEMで観察し、試料内部の分散状態を可視化。 X線CTでは非破壊かつ非接触で巨視的な形態を確認でき、クライオSEMでは さらに微視的な構造を観察することができます。 【特長】 ■リキッドファンデーション塗膜の内部構造を 巨視的な形態観察で評価可能 ■電子顕微鏡による詳細構造の観察では、 乳化粒子や無機粉体の形状確認が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アズサイエンスおすすめの電子顕微鏡、偏光顕微鏡、質量分析計のご紹介
おすすめの3製品をご紹介いたします。 ◆日本電子株式会社 JEM-ARM200F NEOARM 原子分解能分析電子顕微鏡 冷陰極電界放出形電子銃（Cold-FEG）と高次の収差まで補正可能な新型球面収差補正装置（ASCOR）を標準搭載し、200 kVの高加速電圧だけでなく30 kVの低加速電圧においても原子分解能での観察を実現しました。軽元素を含む材料の明瞭なコントラスト観察が容易になります。 ◆株式会社ニコンソリューションズ 偏光/分散顕微鏡 ECLIPSE LV100ND POL/DS 屈折率、複屈折、遅延、消光角、多色性および伸びの徴候などのアスベストの特性を測定し、アスベストの同定を助けることができます。400倍の倍率で分散染色観察を可能にします。 ◆日本電子株式会社 JMS-T100LP AccuTOF LC-Express 大気圧イオン化 飛行時間質量分析計 マルチイオン化・堅牢性・容易なメンテナンスを特長とした高い生産性を目指したハイスループット質量分析計です。低極性から高極性まで、幅広い試料を分析することが可能です。
イオン注入後のアニール条件の違いによる差異を確認
酸化ガリウムGa2O3は、SiCやGaNよりもバンドギャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。デバイスの開発には、特性を左右する不純物濃度や結晶性の制御が重要です。本資料では、イオン注入による結晶構造の乱れから生じるダメージ層及び表面粗さの変化を、アニール条件毎に観察した結果を示します。 測定法：TEM・AFM 製品分野：酸化物半導体・パワーデバイス 分析目的：形状評価・構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
これまでに培ったSEMによる形態観察技術で、食品容器包装材料の層構成の観察が可能です!!
固形ルウの容器は食品の保存性が必要なことから、容器は多層構造になっています。 このような食品容器も、電子顕微鏡で断面観察することで層構成を明らかにすることが出来ます。 ある市販の固形ルウの容器は、FE-SEM観察から約３μm～約４０μmの厚みの７層の多層構造で あることが分かりました。 これをもとに更に材質分析(＊１)をFT-IRやラマン分析で進めた結果、各層の材質についても 把握することが出来ました。 また、容器の保存性についても、酸素透過度、水蒸気透過度の測定(＊２)で把握することができます。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
像シミュレーションを併用した結晶形の評価
高分解能HAADF-STEM像は、結晶の原子配列を反映した画像であることから、種々の結晶方位に対応 したSTEM像をシミュレーションすることにより、多結晶体中の結晶粒間の相対方位や観察像の正確な理解に役立ちます。 本資料では、多結晶体であるネオジム磁石中の結晶粒について、EBSD法で得た結晶方位の情報から STEM像をシミュレーションし、実際の高分解能HAADF-STEM像と比較した事例を紹介します。
