非接触ピンセットW型
ウエハを非接触にて掴むピンセット!非接触ピンセットW型
ピンセットのように手で操作できる。 非接触にてウエハを掴み、搬送する。 キズ汚れを付着させない。
- 企業:有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
- 価格:応相談
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ウエハを非接触にて掴むピンセット!非接触ピンセットW型
ピンセットのように手で操作できる。 非接触にてウエハを掴み、搬送する。 キズ汚れを付着させない。
高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット
CVD装置による半導体ウエハのエピタキシャル成膜後のサセプター上の高温ウエハを、気体を噴出することにより非接触によりウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着し、ピンセットのようにハンドルを持つ手によるバルブ操作により気体供給のON−OFFを行い、高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様の「非接触ピンセット」。
Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット
φ300mm高屈折率ガラスウエハ撓ますことなく、ストレスをかけることなく、キズ、汚れを付着させることなくマニュアル操作によるピンセットにて非接触にて移載およびハンドリングする。
プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット
『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセットは、薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納します。