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非接触ピンセットW型

最終更新日:2004年12月07日

有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ウエハを非接触にて掴むピンセット!非接触ピンセットW型

ピンセットのように手で操作できる。 非接触にてウエハを掴み、搬送する。 キズ汚れを付着させない。

    その他半導体製造装置
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非接触ピンセットW型

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  • 関連リンク - http://www.solarlab.co.jp/pin1

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基本情報

ピンセットのように手操作により、ウエハに向かって気体を噴出することにより、ウエハを非接触にて吸着し、搬送します。ウエハ、チップ、レンズ等のワークにキズ、汚れを付着させません。

価格情報

-

納期

~ 1週間

用途/実績例

ウエハを非接触にて掴む非接触ピンセット 化合物半導体、薄厚ウェーハをオフラインで取り扱うために開発されたピンセットです。ウェーハが吐出エアーにてストレスを受けることがありません。 エアー消費量は従来品の1/4です。吐出エアーによるウェーハ受けるストレスはありません。

企業情報

有限会社ソーラーリサーチ研究所

有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

電子部品・半導体

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当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)を用いたウエハ、液晶ガラス基板、PDP、セラミック、プリント基板、FPC基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。

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