プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット
『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセットは、薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納します。
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基本情報
『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセット』は極薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納する場合に使用します。空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。 ハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」をハンドルを持つ手の操作により空気供給のＯＮ−ＯＦＦを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。
価格情報
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納期
用途／実績例
『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセット』は極薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納する場合に使用します。ハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」をハンドルを持つ手の操作により空気供給のＯＮ−ＯＦＦを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を用いたウエハ、液晶ガラス基板、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。