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薄膜装置や半導体製造装置への組み込みに！1200℃以上の昇温可能な面状ヒータ
『面状加熱CCヒータ』は、熱源にC／Cコンポジット（炭素－炭素複合材）を 使用した薄型でコンパクトな製品です。 C／Cコンポジットを使用することで、シースヒータを用いた プレートヒータでは実現が困難な高い温度まで昇温することが可能。 また、ヒータ上部に設置したサセプタ上で加熱するため、均等に 加熱することができ、大気中では400℃以下、真空中や不活性ガス 雰囲気下であれば1200℃以上の昇温を行うことができます。 【特長】 ■サセプタによる均熱性 ■高温加熱の実現 ■C／Cコンポジット素材採用によるメリット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
均熱性に優れた面状ヒーター！
『HFC-Ox』は、C/Cコンポジット（炭素‐炭素複合材）を使用したヒーターが 石英ガラスに完全に覆われており、酸化雰囲気下で最高1 000℃までの 昇温が可能なガス分離型面状加熱ヒーターです。 主に、薄膜装置（CVD/スパッタリング等）や半導体製造装置（基板加熱/ フラッシュアニール等）への組み込みに適しています。 【特長】 ■大気中や酸化雰囲気中で1 000℃まで昇温可能 ■化学的に安定した石英ガラスを使用しており使用環境の影響を受けにくい設計 ■コンタミの発生が極めて少なくクリーンな状態で使用可能 ■ヒーターに用いるC/Cコンポジット素材は熱容量が小さく振動や衝撃及び サーマルショックに強く速やかな昇温及び降温が可能 ■スペースを取らないコンパクトな設計 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
