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開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xは、高分解能エンコーダを搭載したフリクションレスのトルクモーター駆動ステージです。 優れた回転精度（偏心および平坦度 <1 µm）と、微小なティルトエラー（±20 µrad）を実現し、高度なアライメントや回転制御が求められるアプリケーションに最適です。 プラットフォーム径は85 mm〜210 mm、任意方向設置に対応。光学系、半導体、バイオメディカルなど幅広い分野で活用できます。
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
計測や測定、検査では正確な精度が求められます。誤差を減らしたり、正確な位置決めが不可欠です。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、1µm未満の偏心と平坦度により、正確な校正作業をサポートします。 【活用シーン】 ・光学計測・検査 ・半導体・電子部品の精密検査 ・センサー・計測機器の校正 【導入の効果】 ・測定誤差の低減と再現性の向上 ・高精度かつ安定した角度位置決め ・長期安定運用による測定信頼性の向上
開口付で高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現する高速・高精度回転ステージ
レーザー加工業界では、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に、微細加工や精密なパターン形成においては、位置ずれや振動が加工精度に大きく影響します。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、1µm未満の偏心と平坦度により、レーザー加工の精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・角度依存の微細パターン加工 ・光学部品・精密部品の試作加工 ・レーザー加工プロセス開発・条件検証 【導入の効果】 ・加工精度・加工品質の向上 ・微細加工の再現性向上 ・加工プロセスの信頼性向上
開口付、高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現
半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工技術の進展に伴い、より高い精度と安定性が求められています。位置決めの精度が低いと、加工不良やデバイスの性能低下につながる可能性があります。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、優れた回転精度と微小なティルトエラーを実現し、高度なアライメントや回転制御を可能にします。 【活用シーン】 ・ウェーハプロービング ・マスクアライメント ・レーザー加工 ・検査装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・高速・高精度動作による生産性向上 ・幅広い分野への対応
