【半導体製造向け】ウェハ加工および検査に 高負荷リニアステージ
リニアモータ×エンコーダで高荷重600N（最大）でも滑らか＆高速応答
半導体製造業界では、ウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。特に、微細加工や検査工程においては、位置決めのわずかなズレが製品の品質に大きく影響します。V-817は、高精度な位置決めと長期安定性を提供し、歩留まり向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ加工 ・精密検査 ・レーザー加工 【導入の効果】 ・2 µmレベルの位置決め再現性 ・非接触駆動による発塵抑制 ・長期安定性の実現
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
