リニアモータ×エンコーダで高荷重600N（最大）でも滑らか＆高速応答
半導体製造業界では、ウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。特に、微細加工や検査工程においては、位置決めのわずかなズレが製品の品質に大きく影響します。V-817は、高精度な位置決めと長期安定性を提供し、歩留まり向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ加工 ・精密検査 ・レーザー加工 【導入の効果】 ・2 µmレベルの位置決め再現性 ・非接触駆動による発塵抑制 ・長期安定性の実現
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基本情報
【特長】 ・低プロファイル（高さ63 mm）、幅166 mm、長ストローク（最大813 mm） ・高ダイナミクス・メンテナンスフリーのリニアモータと高精度インクリメンタルリニアエンコーダ ・高精度インクリメンタルリニアエンコーダ ・最大600Nの耐荷重 ・リファレンスエッジによる高速統合、XYにスタックも容易 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験で培ってきた精密制御技術をもとに、世界中の研究機関・装置メーカーに採用されるピエゾステージおよびアクチュエータを提供しています。豊富なラインアップと技術力で、お客様のニーズに最適なソリューションをご提案します。
価格帯
納期
用途／実績例
・電子機器組立： センサ・カメラ組立、非接触検査、X線検査、AOI（自動光学検査）、センサ検査、超音波検査 ・半導体製造： ウェハ加工および検査 ・レーザー加工： レーザー溶接 ・その他： 高精度オートメーションにおける高ダイナミクス用途、スムーズなスキャン動作、最小追従誤差、短い整定時間が求められるアプリケーション
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
