『MBP-55』は、チップレベルのIV/CV測定に適したコンパクトな プローバーです。 50mm□までのサンプルサイズに対応。 シールドボックスまで装備した一体型です。 また、微小電流IV、微小容量CV測定、高周波測定に対応します。 さらにコンパクトサイズ、軽量で持ち運びも容易です。 【特長】 ■チップレベルのIV/CV測定に好適 ■50mm□までのサンプルサイズに対応 ■シールドボックスまで装備した一体型 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他計測・記録・測定器

『AP-150／AP-200』は、それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応した セミオートプローバーです。 コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能。 ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も 結露しません。 また、画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップ アライメント等を搭載できます。 【特長】 ■20kV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応 ■それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応 ■コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能 ■オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフト ■自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他計測・記録・測定器

-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定 20ｋV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応 ◎ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露しません。 ◎コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能です。 ◎オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフトです。 ◎画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できます。 ◎制御ソフトはオペレーターが操作に迷わないように工程順にアイコンを並べるなど、操作性に優れています。 ◎モデルを使用して、ウェハの角度調整、XY位置の微調整を行うウエハアライメント機能を有しています。 ◎ダイ原点位置の登録後、画像処理により、自動で特徴パターンを検出し、リファレンスモデルとして登録する機能を有しています。 ◎登録されたトレイ内に置かれた登録済みの個片チップを画像認識にて自動的に チップアライメントすることも可能です。（オプション） ◎ウエハの膨張などに対応するオートXYZを搭載できます。（オプション）

• その他検査機器・装置

◎非常に小型なので机上で容易に測定が可能です。 ◎真空中でも外部操作型ポジショナ（プローブ）で移動ができます。 ◎シールド効果が抜群で、光・ノイズをシャットアウトします。 ◎MJ-8はホール効果測定を考慮した薄型です。

• その他検査機器・装置

『αシリーズ』は、快適な操作性で評価・解析の幅広いニーズに対応する マニュアルプローバーです。 ステージや光学系は複数の種類から選択可能。 前明きの形でウエハーのロード・アンロードも容易に行えます。 レバーの操作で3段アクションのZドライブが可能。 位置合わせはウエハーから約300μm針を離して行うため、 顕微鏡の焦点からはずれずにステージが移動できます。 【特長】 ■選べるステージ/光学系 ■Zは3段階切り替え ■ステージ移動が簡単 ■確実なアライメント ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他理化学機器

株式会社アポロウエーブは、主にプローブカード各種製造販売を行っている 会社です。 チップサイズから300ｍｍウエハまで対応するマニュアルプローバーを はじめ、これからのウエハーテスト時代を強力にサポートする高周波 プローブカードや、DCマルチコンタクトプローブなどを取り扱っています。 高周波・温度・微小電流をテーマに、ウエハーレベル検査によるコスト削減 に貢献してまいります。 【業務内容】 ■プローブカード各種製造販売 ■マニュアルプローバー及びホットチャックの製造販売 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置