ウエキコーポレーションの製品・サービス一覧

高品質を目指して PRAXAIRは広範囲な研究開発、および最高品質のスパッタリングターゲットの製造を通じて、大手サプライヤーとしての評価を得ています。 AdvanTageタンタルターゲット AdvanTageタンタルターゲットは一貫した再現可能なプロセス性能を提供します。 厚さの均一性と量産品質による再現性のあるスパッタリング成膜を実現します。高い製造技術により、均一な微細構造が生成され、初期の安定性が向上し、寿命全般にわたって一貫したスパッタ性能が得られます。 各スパッタリング装置メーカーの認定品もございます。

• その他金属材料

オープンクリーンシステムなら、囲わなくてもクラス1のクリーン空間！ 囲わないため対象物が確認しやすく、作業性を損ないません。 短時間でクリーン化：数分でクラス1の環境を形成。 短い工期で導入可能：建屋を造る必要が無く、建設コストも削減、将来的なレイアウト変更に合わせた移設・拡張も可能。

• その他クリーンルーム用機器・設備

磁場中プレス成形・SPS焼結装置は、SPS装置のチャンバー内に大型の電磁石を設置する事により、磁性材料の磁場配向が可能な装置です。 プレス構成は精密制御を可能とするACサーボモータ制御による、1軸加圧です。

• 粉末成形機
• 加熱装置

Roll-to-Roll SPS装置は、例えばSUS材のシートを連続的に拡散接合可能な装置です。

• その他加工機械
• 加熱装置

１台のミキサーで3つの機能 １ 均一に撹拌・分散機能 ２ 完全脱泡機能 ３ シリンジへの充填機能 １台のミキサーで、3つの機能：撹拌・分散機能＋完全脱泡機能＋シリンジへの充填機能：を達成。 300ccの最小容量から36リットルの世界最大級容量まで VMXシリーズ（小容量機） ・自公転式プロペラレス撹拌脱泡機で容器1個掛の小容量機をシリーズ化。 ・カウンターウェイト方式なので重量バランス調整が容易。 ・コンパクト設計に加え、優れた静音・低振動を実現。 UFOシリーズ（中・大容量機） ・自公転式プロペラレス撹拌脱泡機では世界最大級の大容量機までをシリーズ化。 ・1台で撹拌・脱泡・シリンジ充填が可能。 ・コンパクト設計に加え、優れた静音・低振動を実現。 ・クリーンルーム　Class1000レベルに設置可能。 ・防爆仕様もオプションとして製作可能。

• ミキサー・攪拌器

・ガスエンジニアリング＆サポート ・ガスサービス事業 ・ガス販売：工業用ガス、燃料用ガス、半導体・液晶用ガス、電子・照明用特殊ガス、標準ガス ・ガス機器販売：ガス機器、低温機器、溶材機材

• 化学薬品
• その他半導体製造装置
• ガス回収/処理装置

水蒸気を選択的に透過する膜を用いた工業用のドライヤー。 酸素ガス・水素ガスの加湿も可能。 国内唯一の非多孔質膜。 ドレン発生無し、電源不要・メンテナンスフリー 冷凍式ドライヤーが使えない周囲雰囲気40℃以上の環境でも使用可能。 空気以外のガスにも使用可能（アンモニア及び溶剤系は不可） ガス分析計へのサンプリングガスの除湿にも最適

• 除湿装置
• その他理化学機器

■マスフローコントローラー制御による安定したガスの供給 ■簡単な操作性 ■コンパクト化の実現 ■デジタル表示による個人差による読み取り誤差の解消 ■IEC、UL規格の対応 ■温度測定装置(オプション)による炎校正 ・銅ブロックの温度をデジタル表示 ・記録出力端子（アナログ）記録計接続可能 ・銅ブロック温度上昇曲線を記録計により記録可能

• 試験機器・装置

磁性材料、固体電解質、ナノ材料、難燒結材料、高温燒結材料、溶解法ではバルク化出来ない特殊組成材料が短時間で燒結可能です。 異種金属の拡散接合も可能です。 ラインアップとして、 Roll-to-Roo式接合装置、磁場中プレス+SPS装置、グローブBOX付きSPS装置もあります。

• 製造受託
• 加熱装置
• 粉末成形機

スパッタやプラズマCVDでは得られない、高品質膜を実現！ SPS装置（通電燒結装置）との組合せで、自在に薄膜開発が可能に！ 想いのターゲット製作から成膜実験までを、1日で可能に！ クリーン真空アークプラズマを用いたリアルイオンプレーティング

• その他表面処理装置
• 表面処理受託サービス