【主な特長】 ○オイルフリーＴＭＰ ○取り付け位置自由 ○軸受けはセラミックベアリング使用 ○クリーンな真空を得られる ○高スループット ○高フォアライン耐圧 ○ダイアフラムポンプとの組み合わせで使用することが可能 ●詳しくはお問い合わせください。

【主な特長】 ○高ガス負荷条件のアプリケーションにおいて高いスループットを提供　　 　→高帯域設計により、バックポンプの小型化が可能 　→最適なローター形状設計により、大気圧下でのスタートも可能 ○コントローラ搭載の305-IC及びリモートコントロール型305-FSがあり、 　RS232/485、Bluetooth、USB、NFC に対応しています。 ○電源電圧120V/240VVACまたは24VDCの選択可能 ○小型で設置位置、設置姿勢の自由度が大 ○装置内設置面積の削減 ○全方向取付可能 ○TwisTorr ドラッグステージ（特許）の採用により、低い運転温度でも高い 　スループットを発揮 ●詳しくはお問い合わせください。

【特長】 ○先進のロータテクノロジ →高いプロセス柔軟性 →オイルフリー →低振動 →高信頼性 →長期メンテナンスフリー ○先進のコントロールユニット →オートチューニング →自己診断機能 →ＤＣモータドライブ →バッテリなしで作動 ○コンパクト設計 →省設置面積 →ハーフラック・コントロールユニット ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

【特長】 ○実績の信頼性 ○クリーンなオイルフリー高真空 ○300～4300Ｌ/ｓのフルレンジ ○アプリケーション別固有モデル ○超低騒音/低振動 ○低ランニングコスト ○長期メンテナンスフリー ○取付方向が自由 ○フルリモート制御インターフェース機能 ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

"＜取扱ポンプ＞ 　●ロータリーポンプ 　●スクロールポンプ 　●ターボ分子ポンプ 　●油拡散ポンプ 　●イオンポンプ ＜取扱メーカー＞ 　●アジレント社（バリアン社） 　●エドワーズ社 　●ファイファー社 　●アディクセン社 　●ライボルト社 　●アネスト岩田株式会社"

【特長】 ○先進的な磁気軸受システム →セルフセンシング磁気軸受技術の採用 →完全５軸デジタル制御 ○コンパクトデザイン →コントロールユニット一体型ターボ分子ポンプ →ラック型コントロールユニットが不要 →ポンプーコントロールユニット間のケーブルが不要 ○低振動 →振動レベルを５０％に低減（当社比） →ＡＢＳ標準搭載 →ＡＶＲ標準搭載 ○高信頼性 →各種国際安全規格に対応 →ＣＥマーク、ＵＬ規格、ＳＥＭI-S2準拠 ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。 ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。