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従来のKUMADE CUPタイプは、半導体の超極薄ウェーハ(厚み50μm以下)を安全かつ確実に搬送するよう最適に設計されておりました。今回、新開発しましたKUMADE CUPタイプは太陽電池/FPD基板搬送向けとして旋回流の持つポテンシャルを最大限に引き出した商品です。消費流量わずか15L/minで結晶Si系太陽電池セルの高速搬送を実現します。
静電気帯及び剥離帯電の解消、搬送中にセンタリングを行い装置タクトタイムの低減。
極薄ウェーハハンドリング用手動ピンセット、 ウェーハへのストレスフリー、小径から大口径まで対応、 ウェーハカセットへのアクセス対応。
エアー噴出ノズルに発生する吸引力により、ハンドから離れた反り・歪み部分にも吸引力が作用し、ハンドに引き寄せて保持します。ハンドに引き寄せる力と樹脂パッド(ゴム製)との摩擦力により、ウェーハの横方向への動きを止めます。このため外周ガイドが不要となりますが、ハンドを反転しても問題なくウェーハを保持します。
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