ウエハー搬送・FPDパネル搬送のイノベーションサプライヤー
エアー噴出ノズルに発生する吸引力により、ハンドから離れた反り・歪み部分にも吸引力が作用し、ハンドに引き寄せて保持します。ハンドに引き寄せる力と樹脂パッド（ゴム製）との摩擦力により、ウェーハの横方向への動きを止めます。このため外周ガイドが不要となりますが、ハンドを反転しても問題なくウェーハを保持します。
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基本情報
【特徴】 ○部分触式（接触材質：フッ素ゴム）にてウェーハのズレを防止いたします ○薄くなったウェーハを安全・安心して搬送することが可能です ○反ったウェーハを大きな力で引き付けることが可能です ●詳しくはお問い合わせください。
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企業情報
極薄ウェーハ搬送機器のト-タルソリューションを提供。非接触ウェーハ搬送による不良率低減・タクトタイムの向上に寄与。 TSV(Through Silicon Vias)ウェーハ、MEMSウェーハ等の穴あきウェーハ搬送を可能にする。TAIKOウェーハ、DBGウェーハ等の新プロセスウェーハ搬送に対応、 パワーデバイス等の薄く、裏面処理の必要なウェーハ搬送(Wf表面アクセス)。
