【仕様】 ○処理方式 同軸バレル型 ○処理室 円筒・縦型・石英チャンバー ○ＲＦ電源 600～2000Ｗ　13.56ＭＨｚ　オートチューニング ○処理ガス Ｏ２　1系統増設可（オプション） ○パージガス Ｎ２ ○処理ステップ 10レシピ（3ステップ）＋10ヒーターレシピ ○ウエハーサイズ ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。

【仕様】 ○処理方式 平行平板プラズマ励起方式（ＤＰ／ＲＩＥ切替可） ○処理室 ＡＬ製（シングルチャンバー） ○ＲＦ電源 600～1000Ｗ ○処理ガス Ｏ２　1000ＳＣＣＭ ○1系統増設可（オプション） ○パージガス Ｎ２ ○スループット 3000枚／400時間（ポリイミド膜１μｍエッチング時） ○処理ステップ 3ステップ，10レシピ ○ウエハーサイズ 6インチ，8インチ兼用 ○ウエハー搬送方式 垂直動作カセットエレベータ（6インチ，8インチ兼用） ○本体寸法 W600×D1500×H1850 ○本体重量 650kg ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。

【仕様】 ○処理方式 平行平板プラズマ励起方式（ＤＰ／ＲＩＥ切替可） ○処理室 アルミニウム（A5052）製 ○ステージ段数 標準3ステージ（オプション 増設1ステージ対応可） ○チャンバー寸法 幅500×奥580×高500ｍｍ ○ステージ寸法 幅340×奥420ｍｍ ○ＲＦ電源 600Ｗ　13.56ＭＨｚ　オートチューニング ○処理ガス O2、Ar（オプション　1ライン増設可） ○パージガス N2（スローライン有） ○処理ステップ 10レシピ（3ステップ） ○真空ポンプ ロータリーポンプ　1300L/min ○本体寸法 幅880×奥880×高1600ｍｍ ○本体重量 約400kg ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。

【特徴】 ○容易なプラズマモード切替 ○高速追従性 ○多種多様なカスタマイズ性 ○将来的な収束問題の解消 ●その他御客様の仕様に合わせた装置製作を行います。 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。

【仕様】 ○処理方式：平行平板プラズマ励起方式（DP／RIE切替可） ○処理室：AL製（シングルチャンバー） ○RF電源：600Ｗ　13.56MHz　オートチューニング ○処理ガス →O2：1000SCCM →CF4：500SCCM →1系統増設可（オプション） ○パージガス：N2 ○スループット：3000枚／400時間（ポリイミド膜1μｍエッチング時） ○処理ステップ：3ステップ、10レシピ ○ウエハーサイズ：6インチ、8インチ兼用 ○ウエハー搬送方式 →垂直動作カセットエレベータ（6インチ、8インチ兼用） →水平・旋回動作1フィンガー吸着方式クリーンロボット ○本体寸法：W600×D1500×H1850 ○本体重量：650kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

お客様のニーズに合わせて、プラズマ処理をいたします。 お気軽にお問合せください。 ■プラズマ関連事業■ プラズマ応用装置の開発、製造、販売 【プラズマ装置】 ・自社製品(カタログ品）の販売 ・お客様仕様カスタム製品の開発 【サポート業務】 ・既存のアッシング装置の各種改造 ・メンテナンス ・据付/立上のサポート業務