高硬度で耐熱性に優れているSiCは、高温まで機械的強度が維持できる、灰黒色の素材です。 高温での耐熱性に優れていることから、近年、半導体材料や関連材料などとして注目されています。 他のセラミックス素材に比べ、耐食性が非常に良いことも特徴です。 ＜特徴＞ 耐久性に優れ、高温まで機械的強度が維持できる。 硬度が大きく、耐摩耗性に優れている。 熱膨張率が小さく、熱伝導性、熱衝撃にも優れている。 耐食性に優れている。 靭性が低く、脆い性質がある。

• ファインセラミックス

アルミナとは酸化アルミニウムのこと。汎用性が高く比較的安価なため、セラミックスの中で最も利用されている代表的な材料です。 高い電気絶縁性を持ち、硬度、圧縮強度、耐摩耗性、耐薬品性に優れるため、機械材料としてよく利用されています。 弊社ではアルミナ99.5％を最も多く使用しておりますが、用途によって96％もご提案しております。 アルミナ基板にはメタライズ加工も可能です。詳細はお問合せください。 ＜特徴＞ ・セラミックスの中でも汎用性の高い素材 ・硬度、圧縮強度、耐摩耗性、耐薬品性に優れるため、機械材料としてよく利用される ・電気絶縁性が高く、比較的安価 ・高い耐熱性（約1500℃）、比較的高い熱伝導率を有する。一方、熱膨張係数が高く、耐熱衝撃には弱い。

• ファインセラミックス

BNは黒鉛に似た結晶構造を持った白色粉末から作られています。 そのため、耐熱性、耐熱衝撃性、潤滑性、機械加工性、化学安定性など黒鉛に類似した点がありますが、黒鉛が誘電性なのに対し電気絶縁性が高く、色が白い点が大きく異なります。 加工については、±0.01での公差が可能です。

• ファインセラミックス

曲げ強度などの機械的な特性に優れ、熱的にも急熱・急冷に強く、ワレ・カケ・折れにくいことが特徴です。 高温で使用できるため、溶接治具などに使用すると、他のセラミックの使用に比べて長寿命化が期待できます。 ＜特徴＞ ・耐熱衝撃性に優れた材料で、高温まで強度が低下しない。 ・熱膨張率が低く、耐熱衝撃性が極めて高い。 ・機械的強度、靭性、耐摩耗性、耐食性に優れている。 ※詳しくはカタログ・HPをご覧いただくか、お気軽にお問合せください。

• ファインセラミックス
• CVD装置
• 加熱装置

エンジニアリングセラミックスの中で、常温における強度と靭性が最も高いセラミックス。熱伝導が小さく断熱性が高いことも特徴です。 他のセラミック素材に比べ熱膨張率は高く、硬度、破壊靭性、および耐食性、表面平滑性に優れています。 常温で靭性と強度が高いため、刃物や、ハサミ、包丁にも利用されています。 ＜特徴＞ ・破壊靭性が極めて高く、常温における曲げ強度、圧縮強度が大きい。 ・熱伝導性が小さいため、断熱性が大きい。 ・表面平滑性に優れている。 ※詳しくはカタログ・HPをご覧いただくか、お気軽にお問合せください。

• ファインセラミックス
• マウンター
• 半導体検査/試験装置

窒化アルミはアルミニウムの窒化物であり、非常に熱伝導率が高い素材です。（約170W/(m・K)、アルミナと比べると約5-８倍）放熱部品や均熱部品等に採用されています。 他のセラミックと比べて電気絶縁性が高いことも特徴です。 鏡面加工も可能です。 ＜特徴＞ ・熱伝導率・熱放射率が大きく、均熱性が高い ・熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える ・Siにマッチした低熱膨張で、温度変化によるウエハの変形を防ぎ、またデポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する ・フッ素系ガスの耐食性が大きい ・耐プラズマ性に優れている ※詳しくはカタログ・HPをご覧いただくか、お気軽にお問合せください。

• ファインセラミックス
• LEDモジュール
• セラミックヒータ

100を超える協力工場との連携により、ご所望される製品の短納期・高精度を実現。 使用目的をお伺いしながら、適切な加工方法や材質の提案も行ってまいります。手書き図面でも、弊社で３D図面を作成し製作可能です。 １個から試作品、量産品まで、まずはお気軽にお問合せください。 ※詳細はカタログをダウンロードいただくか、弊社HPをご覧ください。

• セラミックス
• 加熱装置
• センサ

メタライズ加工の主な方法として、スクリーン印刷による厚膜パターン形成、真空成膜・メッキ・フォトリソグラフィ―・エッチングによる薄膜パターン形成が対応可能です。 パターン形成以外に、VIA充填や抵抗体形成、スルーホール形成等も対応可能です。 ご所望の機能・性能を実現する最適なメタライズ加工をご提案させて頂きます。 ＜加工仕様例＞ ・薄膜メタライズ 加工精度：ライン/スペース＝３０㎛/３０㎛ 加工方法：真空成膜（スパッタや蒸着）＋メッキ＋フォトリソグラフィ（レジスト形成・露光・現像）＋エッチング その他加工：スルーホール形成（Φ0.1mm～）/抵抗形成 ・厚膜メタライズ 加工精度：ライン/スペース＝１００㎛/１００㎛ 加工方法：スクリーン印刷 その他加工：VIA充填/抵抗形成 ※詳しくはカタログ・HPをご覧いただくか、お気軽にお問合せください。

• センサ
• 高周波・マイクロ波部品
• 抵抗器

快削性に優れているため複雑形状・精密加工が可能なマコールは、素材特性上、チッピングが出にくい素材でもあります。 気孔がないため、真空中でも安定した性能を発揮します。 超硬・高速度鋼工具も使用可能です。 微細穴Φ0.1の加工実績あり。鏡面仕上げも可能です。 ＜特徴＞ ・真空特性に優れる。無孔性のため、ガスの透過、脱ガスが少なく、吸水率ゼロ、真空用材料として好適 ・He透過性はパイレックスより良い ・優れた電気絶縁性 ・－２７３～１０００℃で使用可能（連続使用８００℃、高真空中８００℃） ・断熱性、非磁性 ※詳しくはカタログ・HPをご覧いただくか、お気軽にお問合せください。

• セラミックス

窒化アルミニウムと窒化ホウ素の複合焼結体である『シェイパルHi Mソフト』は、高い熱伝導率と耐熱衝撃性を持った高機能マシナブルセラミックです。 機械加工にも適しており、優れた加工性を持つため複雑形状の加工や高精度の加工も可能です。 微細穴Φ0.08、Φ0.1、面粗度Ra0.2等の加工実績もございます。 ＜特徴＞ ・優れた真空特性 ・低い熱膨張率（4.8×10^-6/℃） ・高い熱伝導率（約92W/m･K） ・高強度（300MPa） ・優れた電気絶縁性 ・溶融金属に濡れにくい ※詳しくはカタログ・HPをご覧いただくか、お気軽にお問合せください。

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