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◎高価で枯渇の恐れのあるヘリウムガス不要 ・アルゴンガスや大気（窒素）を用いてリークテスト可能 ◎検査時間の短縮、簡略化が可能 ・低真空領域（約50Pa）からテスト可能 ・ガス抜けが早く、検査タクトの短縮化が可能 ・サーチガス変更はワンタッチ ⇒大気中の窒素を用いてリークの有無や全リーク量を確認後、 アルゴンモードに切替えてリーク箇所の特定が可能 ◎高度なスキル不要 ・エラストマーへの吸収や透過が無いので、確実な漏れ検知が可能 ◎リーク量の正確な定量が可能 ・標準コンダクタンス素子を用いた大気圧空気（窒素）のリーク標準を実現 ・空気校正値からアルゴンガス等への換算が可能 ・水没法に比べ簡単かつ短時間で確実な定量が可能
Smart Vacuum Gauge（S Gauge）SC-22は、弊社が開発した新方式の、残留ガス成分と全圧（真空度）の両方を計れる自動真空計です。 RGA（Qマス）の働かない荒引き真空でも気体成分計測リークチェックができます。コールドカソードゲージがベースなので、フィラメントが無くタフな環境でも使用できます。 全圧は一体に組み込まれたワイドレンジ真空計で大気圧から超高真空までの真空ができます。残留ガス成分の測定は全圧が約10Pa以下で自動的に始まります。 【特長】 ■面倒な操作は不要 ■ポータブル ■低真空でも残留ガス測定が可能 ■タフで汚れにも強い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
CC-10ワイドレンジ真空計は、大気から超高真空までを一つの真空計で連続して自動計測できます。 従来、荒引き用と高真空用のそれぞれの真空計に加えて、チャンバーを大気に戻す(パージ)ための真空スイッチ(大気圧センサー)を使用して別々に測定していた圧力計測システムが、このCC-10ワイドレンジゲージ1台で可能になります。 センサーと回路を一体にして、圧力表示も付いています。 CC-10を真空チャンバーに接続してDC24Vを供給(ACアダプタもオプションで準備)するだけで、後は何のスイッチ操作もいりません。 大気圧から自動的に測定が開始し、圧力が表示され、また外部へ圧力信号をアナログ出力およびデジタル通信(RS-485)で出力できます。 【特徴】 ○操作不要 ○タフで安全なゲージ ○優れた精度と安定性 ○イージーメンテナンス ○省エネルギ省スペース 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
■真空計の圧力データをPCのUSBポートに取込み、圧力をリアルタイムにグラフ表示し、またCSVファイルとして記録します。 ■実験開始圧力に到達した、あるいは想定した時間内に規定圧力に達しないなどの装置の状況を任意の電子メールアドレス宛に即座にお知らせしますので、装置を離れていても大丈夫 ■データ測定中にグラフ上の任意の点にマークを付けてコメントを書き込むことができるので、チャートレコーダーのような使い方が可能です。 ■最大16台の真空計まで1台のPCで記録できます。
チタン合金を真空チャンバーや真空部品の材料に用いることにより、非常にガス放出の小さい真空システムを可能にする技術を開発いたしました。これにより素早く、簡単に超高真空/極高真空を得ることが可能になりました。 チタンはもともと真空への応用に適した素材です。軽量、完全非磁性、低熱膨張率、低熱容量、などなど多くの利点を有しています。我々の技術は、この本来優れたチタン材に、さらに真空応用にとって重要な特性を付け加えました。 表面処理技術の開発により、ガス放出をステンレスに比べ2桁ないし3桁減少させることができました。これにより、非常に高速に超高真空への排気が可能です。 特殊なチタン合金の開発により、ステンレスに比較して強度、硬度ともに高く、超高真空に不可欠なCFフランジが可能になりました。 製造技術の開発により、従来困難であったチタンの溶接やロー付けが信頼性良く可能となりました。これにより、様々な複雑形状の真空チャンバーや真空部品の製造が可能になりました。
・御社の生産真空装置の生産性向上の為の改造に関してコンサルティングを行います。さらにご要望により開発や設計の一部または全部の受託も行います。 ・真空関係の試験、実験に関して受託あるいはコンサルティングの形でお手伝いいたします。 ・御社の真空技術者に対する教育プログラムの提供と教育の実施を承ります。 ・その他、真空技術、真空関連市場に関して幅広くノウハウや情報提供を行いますのでお気軽にご相談ください。
VISTA株式会社は、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。 TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。 また、蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。 TELEMARKのクライオトラップ TVPシリーズは、真空チャンバー内に設置したクライオコイルに-150℃の冷媒を循環させることにより、水蒸気を吸着排気し、水蒸気分圧を効果的に下げ、また排気時間を劇的に低減します。 【ラインナップ】 ○電子銃 ○電子銃電源及びアクセサリー ○水晶膜厚モニター／膜厚コントローラー ○クライオトラップ TVPシリーズ ○イオンソースシステム 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
TELEMARKの多種多様な電子銃ラインナップからご希望の仕様の製品を提供いたします。
多彩なラインナップの電子銃電源を用意しております。
最新テクノロジーによる水晶膜厚モニタをベースに、レートや膜厚の監視、コントロール、蒸着シーケンスの制御を行います。高分解能で高速な計測による精密で安定な蒸着が可能です。拡張性、汎用性に優れた設計で、様々な用途に対応可能です。
TELEMARK製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着（IAD）技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。TELEMARKのグリッドレスイオンソースシステムは独自のデザインのイオン源により、ガラス、プラスチック、金属の様々な基板で安定なイオンアシスト蒸着を可能にしました。
素早い冷却、素早い昇温 蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。TELEMARKのクライオチラーシリーズは最新の技術進歩を取り入れたクライオチラーです。
【イプロス初主催】AIを活用したリアル展示会！出展社募集中
