イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します
TELEMARK製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着（IAD）技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。TELEMARKのグリッドレスイオンソースシステムは独自のデザインのイオン源により、ガラス、プラスチック、金属の様々な基板で安定なイオンアシスト蒸着を可能にしました。
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基本情報
TELEMARK製イオンソースシリーズは、 1. 軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい 2. 独特なイオン源デザイン（特許）で非常に小さなサイズながら 3.大きなイオン電流が広範囲に得られます 4.高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く（70～80℃）基板への熱ダメージが少なく、また熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリーです 5.極微量のガスでイオンビームが得られますので、低い圧力での動作が可能 6.特殊コーティングのイオン源は高濃度酸素中でも酸化によるチャージアップが無く安定な運転が可能 7.スタート後わずか3秒で安定なビームが得られます 8.パルスモード/連続モード/基板クリーニングモード/ガスパージモードの運転切替が可能 9.RS232を装備し外部PCからコントロールが可能です 10.イオンカレントモニタをオプションで用意しております 11.イオン電流のフィードバック制御が可能
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
蒸着装置等
詳細情報
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Mini-Gun 800W,4A,90～225eV UHV仕様
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XIAD 1000W, 5A, 225eV
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ST55 1500W, 7A, 225eV
ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| Mini-Gun | 800W, 4A, 90～225eV, ※UHV仕様 |
| XIAD | 1000W, 5A, 225eV |
| ST55 | 1500W, 7A, 225eV |
| ST3000 | 3000W, 10A, 300eV |
企業情報
VISTA株式会社は、真空技術、真空市場に長年の経験を有するスタッフにより、極、超高真空に対応した真空計、真空ポンプ等の開発、製造、販売、コンサルティング、技術受託を行う真空技術の専門会社です。市販の真空製品に飽き足らない方は是非ご相談ください。
