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ノンパターンSiCバルクウェーハ 0.1μm検出。 微小スクラッチ検出。 SiCやGaNウェーハの洗浄確認に最適です。 自動搬送とマニュアル搬送が選択できます。 顕微鏡観察機能で測定後のレビューができます。
シリコンウェーハだけでなく、ダブルポリッシュの透明ウェーハ、シングルサイドポリッシュの半透明ウェーハ（裏面梨地ウェーハ）も測定可能。 自動搬送仕様とマニュアル搬送仕様が選択できます。 顕微鏡観察オプションで測定後レビューができます。
ノンパターンウェーハ・基板表面パーティクル検査装置です。 マニュアル搬送の卓上検査装置でスペースを取りません。 ラボや装置横への設置も簡単です。 シリコンだけでなくガラス素材も測定可能です。
大型品の切削や低コストな複合加工に。ロボットシステムの資料進呈
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