【オプション】 ■入口/出口フィッティング ■入口/出口バルブ ■0.003μパーテクルフィルタ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• ガスフィルタ

【仕様】 ■材質：本体316L　ステンレス製 ■フィルター 　・内蔵型メタルフィルター　標準：0.1μm　オプション：0.003μm ■長さ(面間)：160mm ■外径：51mm ■電解研磨：有 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• ガスフィルタ

【仕様】 ■最大流量：10slpm(150psig時の理論値) with FP ■公称流量：2.0slpm ■材質：本体316L　ステンレス製 ■フィルター 　・内蔵型メタルフィルター　標準：0.1μm　オプション：0.003μm ■バルブ：オプション　※ご注文時にご確認ください。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• ガスフィルタ

【仕様】 ■材質：本体316L　ステンレス製 ■フィルター 　・内蔵型メタルフィルター　標準：0.1μm　オプション：0.003μm ■バルブ：オプション　※ご注文時にご確認ください。 ■温度定格：40℃ ■電解研磨：有 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• ガスフィルタ

【精製対象ガス】 <媒体> ■C：Ar、He、Kr、N2、Ne、Xe、H2 ■CA：Ar、He、Kr、N2、Ne、Xe、H2 ■CA：H2、H2mix ■F：C2F6、C3F8、C4F8、CCIF3、CCI2F2、CCI4、CF4、CHCIF2、CHF3、CH3F ■OX：CDA、O2　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• ガスフィルタ

【その他の仕様】 ■最大作動圧力：～0.97MPa(設計限界圧力　200psig) ■温度定格：40℃ ■入口：オスVCR ■出口：オスVCR ■長さ(面間)：224mm ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• ガスフィルタ

仕様 最大流量：　4.5 slpm（CR)　1.5 slpm（FP) 定格流量：　0.3 slpm 材質：　本体３１６L 内蔵パーティクルフィルター：　0.1μm / 0.003μm 選択可能 バルブ：　無/　1/4"手動 最大作動圧力：　40℃　0.97Mpa　（200psig） 電解研磨：　有 外径：　25.4mm 継ぎ手：　VCR又はスエジ選択可能 ヘリウムリーク試験実施 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• ガスフィルタ

【特徴】 ○燃結された非蒸発型ゲッター材から構成される2列のゲッターディスクと 　中央に位置する赤外線ランプから構成されている ○ランプの放射熱によりポンプは活性化し、チャンバーがベーキングされる ○ゲッター材は、真空中の活性なガスと化学反応し、その表面に取り込む ○ポンプダウンとプロセスが行われている間、 　H2,H2O,CO,CO2,N2,およびO2と反応する ○プロセス中にアルゴンが存在してもポンプの性能には影響しない ○ポンプの2列のゲッターディスクはステンレス製の遮幣板に搭載 ○ポンプには2個のKタイプ熱伝対と、外部の電源と接続するための 　電線が組み込まれている ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

【特徴】 ○陰極材料用アルカリ金属蒸着源「AlkaMax」 ○独自のデザインにより、アルカリ金属に必要な初期蒸着速度、 　均質性、容易な制御方法を手に入れることが可能 ○シンプルなフィードバック制御ループ →急速冷却をしたQCMを用いることで、 　蒸着レートを効果的に制御することが可能 ○環境にやさしく、空気中においても安全な取扱いが可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 有機EL
• ディスペンサー

【特徴】 ○OLEDの必要条件に完全に対応するために開発 ○マトリックス中に捕らえられた酸化カルシウムで構成されている ○装置中への容易で信頼性のある挿入のために、粘着層に付けられる ○構造全体は 100µm 程度の薄さ、市場において最も薄い乾燥剤製品 ○任意のディスプレイ・サイズのスペース制約に適合 →あらゆるサイズ形状で製造することが可能 →より簡単にディスプレイにフィット ○H2Oが１ppm の OLEDの環境下で、乾燥機能の低下もない ○通常、数日間の曝露に耐えることができる ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 有機EL
• 有機天然材料

【仕様】 ○H2 入口純度 →HEMS T：99.99999％ →HEMS B：99.999％ →HEMS M：99.97％ ○検出限界 →HEMS T：10ppt →HEMS B：100ppt →HEMS M：1000ppt ○応答時間：10 分(標準) ○操作環境：10℃-40℃ ○ガス流量：2.000sccm(max) ○入口圧力：0.97MPa （11.4Barg)max ○接続：USB イーサネット,RS-232 ○計器用空気：0.69-0.90MPa (4.8-6.2 Barg) ○接続タイプ/ガス抜き接続：1/4"MVCR 入口/出口　ハウススクラバー ○電源：100-240VAC 50/60Hz ○寸法：711×470×508mm (28"W×18.5"D×20"H) ○重量：73.6kg(162 lbs) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 分析機器・装置
• その他環境分析機器

【仕様】 ○確度：+/-検知限界、または測定地の10％いずれか大きい方 ○レンジ：10000：１　例：1ppbー10ppm、1ccサンプルループ ○測定時間、環境：400sec（アプリケーションによります） ○動作環境温度：13度ー30度 ○供給ガス →キャリアガス:高純度Heガス　供給圧：70-110 psig →トータル流量200ccm（アクチュエーション時＋50ccm） →アクチュエーター：高純度Heガス　供給圧：70-110 psig ○圧力変動：5%以下 ○電源電圧：110VAC または 220VAC 選択　50/60 HZ 1.5 A ○外形寸法：686 mm (D) × 432 mm(W) × 178 mm(H) ○重量：11.5kg ○測定データ →タッチパネル →クロマトグラフおよび数値による測定表示 →データはExcel 対応 →プリンターポートあり ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 分析機器・装置
• その他環境分析機器

【仕様】 ○確度：+/-検知限界、または測定地の10％いずれか大きい方 ○レンジ：10000：１　例：1ppbー10ppm、1ccサンプルループ ○測定時間、環境：400sec（アプリケーションによります） ○動作環境温度：13度ー30度 ○供給ガス →キャリアガス:高純度N2ガス　供給圧：70-110 psig →FID 用水素ガス：<99.999%　供給圧：25-45 psig →FID 用CDA：<99.999%　供給圧：5-45 psig ○圧力変動：5%以下 ○電源電圧：110VAC または 220VAC 選択　50/60 HZ 1.5 A ○外形寸法：686 mm (D) × 432 mm(W) × 178 mm(H) ○重量：11.5kg ○測定データ →タッチパネル →クロマトグラフおよび数値による測定表示 →データはExcel 対応 →プリンターポートあり ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 分析機器・装置
• その他環境分析機器

【仕様】 ○確度：+/-検知限界、または測定地の10％いずれか大きい方 ○レンジ：5000：１　例：1ppbー5ppm、1ccサンプルループ ○測定時間、環境：2分（アプリケーションによります） ○動作環境温度：13度ー30度 ○キャリアガス：純度：99.999%または高純度ガス99.9999％ ○供給圧力：0.5ー0.8Mpa ○圧力変動：5%以下 ○電源電圧：110VAC または 220VAC 選択　50/60 HZ 1.5 A ○外形寸法：686 mm (D) × 432 mm(W) × 178 mm(H) ○重量：11.5kg ○データ測定 →タッチパネル →クロマトグラフおよび数値による測定表示 →データはExcel 対応 →プリンターポートあり ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 分析機器・装置
• その他環境分析機器