『TP-POL-1』は、テラヘルツ分光装置「TeraProspecor」に搭載可能な 試料による偏光の影響を測定するためのステージです。 入射および検出信号の水平偏光成分以外をカットするための偏光子と、 挿入した試料を回転させることができる試料ホルダーから構成されます。 【仕様】 ■型式：TP-POL-1 ■試料回転角：360°（手動で任意の角度に設定可能） ■消光比：＜10-4 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『TP-TRM-1』は、テラヘルツ分光装置「TeraProspecor」に搭載可能な 自動試料ステージUNITです。 ステージに取り付けられた試料取り付けプレートに6試料を取り付ける ことにより、試料カバーを開放することなく連続して試料の測定が可能。 試料カバーを開放する回数を抑え、測定効率の向上と水蒸気の 流入を最小限にとどめます。 また、反射自動試料ステージUNIT「TP-RFL-1」も取り扱っています。 【特長】 ■プレートに6試料を取り付け 　（1か所はリファレンス測定用に使用。オプションにて試料数の変更可能） ■試料カバーを開放することなく連続して試料の測定が可能 ■測定効率の向上と水蒸気の流入を最小限にとどめる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『TP-HEA-1』は、テラヘルツ分光装置「TeraProspecor」に搭載可能な 透過測定用加熱ステージUNITです。 試料部分は断熱のため、真空に引いて使用します。真空引きは試料を セットした後に手動にて行ない、真空で封じ切ったUNITを試料室に セットして測定します。 温度は試料を接触させる金属部の温度をモニターし、電熱ヒーターより制御。 排熱用にチラーを使用し、冷却水を循環して使用します。 【特長】 ■試料部分は断熱のため、真空に引いて使用 ■温度は試料を接触させる金属部の温度をモニター ■排熱用にチラーと冷却水を循環して使用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『TP-LQD-1』は、テラヘルツ分光装置「TeraProspecor」に搭載可能な 組み立て式の液体セル用サンプルステージです。 透過自動試料ステージにセットして使用し、窓材の間にスペーサーを 挿入することでセル厚を制御します。また、紛体の測定も可能です。 付属品の液体セルは、標準で2個付属されます。 【特長】 ■透過自動試料ステージにセットして使用 ■セル厚を制御 ■紛体の測定も可能 ■液体セルは標準で2個付属 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『Tera Evaluator』は、エリプソメトリの技術を導入した 新しいテラヘルツ分光装置です。反射光学系の採用により 不透明な材料の測定に適しています。 4インチ、6インチウェーハ測定用のマッピングステージを標準搭載し、 半導体ウェーハの非接触・非破壊検査を実現しました。 電磁波パルスの電場強度の時間波形を計測することで、電場強度と共に 位相情報も同時に計測。リファレンスとサンプルでの時間波形の違いを 解析することにより、サンプルの複素誘電率（複素屈折率）の 周波数依存性を得ることができます。 【特長】 ■キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定 ■テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能 ■液体試料も測定可能 ■解析用ソフトウェア：THz Analysisを標準搭載 ■レーザーの外部入力が可能なシステムを構築 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 分光分析装置

『Tera Prospector』は、汎用性を重視し、広い試料室空間を確保した、 非破壊で製品の内部検査が出来るテラヘルツ分光装置です。 本製品は、光と電波の境界領域という、今までとは異なる電磁波の帯域を 取り扱う新しい分光装置で、電磁パルスの電場強度の時間波形を計測する ことで、電場強度と共に位相情報も同時に計測します。 また、イファレンスとサンプルでの時間波形の違いを解析することにより、 サンプルに複素誘電率（複素屈折率）の周波数依存性を得ることが出来ます。 【特長】 ■非破壊で内部検査 ■汎用性重視 ■広い試料室空間を確保 ■付属光学系の導入を実現 ■多様性・拡張性・柔軟性・容易性に優れる ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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日邦プレシジョン株式会社(PNP)が提供するテラヘルツ分光装置『Tera Prospector』は、非破壊での製品の内部検査を可能にしました。また、汎用性を重視し、広い試料室空間を確保することで、お客様の様々な目的に応じた付属光学系の導入を実現します。『Tera Prospector』は、検査・分析の未来を拓くテラヘルツ分光装置です。 【特長】 ■レーザーの外部入力が可能なシステム構成で運用やコストに有利 ■広い試料室空間を活かし多様な測定（透過 / 反射 / マッピング等）に拡張対応 ■一連の測定手順の組換えや測定の自動化に対応したソフトウェアを搭載 ■計測用PCとの接続が簡略化されているため、容易に設置が可能 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。

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