【基本構成】 ・蒸気発生装置 ・2流体ノズル 【資料の掲載内容(抜粋)】 ・キャビテーションとは ・蒸気2流体の特長 ・水のレジスト膜への浸透 ・半導体工程での処理例(白金残渣) ・太陽電池用シリコン基板の切削粉除去 ・自動車のタイヤホイール洗浄 ・新たな可能性(メーク落とし) ・水蒸気洗浄の美容・医療への応用 ・ハンディタイプのノズルも開発中！ ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他洗浄機

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【その他の特長】 ■装置はキャスター付きで移動が容易 ■一度の給水で連続1時間以上使用可能 ■蒸気の圧力、純粋の流水等の条件設定が可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他半導体製造装置

【基本構成】 ○金属汚染のない蒸気発生装置 ○超音速蒸気噴射ノズル ○洗浄機本体との通信 【蒸気発生装置】 ○蒸気発生量：2～100kg/h 　※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意 ○用力：DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC ○蒸気圧力制御範囲：0.05-0.3MPa ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【基本構成】 ○金属汚染のない蒸気発生装置 ○超音速蒸気噴射ノズル ○洗浄機本体との通信 【蒸気発生装置】 ○蒸気発生量：2～100kg/h 　※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意 ○用力：DIW,N2,CDA,200VACまたは100VAC ○蒸気圧力制御範囲：0.05-0.3MPa ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【基本構成】 ○金属汚染のない蒸気発生装置 ○超音速蒸気噴射ノズル ○洗浄機本体との通信 【蒸気発生装置】 ○蒸気発生量：2～100kg/h 　※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意 ○用力：DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC ○蒸気圧力制御範囲：0.05-0.3MPa ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【基本構成】 ○金属汚染のない蒸気発生装置 ○超音速蒸気噴射ノズル ○洗浄機本体との通信 【蒸気発生装置】 ○蒸気発生量：2～100kg/h 　※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意 ○用力：DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC ○蒸気圧力制御範囲：0.05-0.3MPa ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【基本構成】 ○金属汚染のない蒸気発生装置 ○超音速蒸気噴射ノズル ○洗浄機本体との通信 【蒸気発生装置】 ○蒸気発生量：2～100kg/h 　※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意 ○用力：DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC ○蒸気圧力制御範囲：0.05-0.3MPa ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【基本構成】 ○金属汚染のない蒸気発生装置 ○超音速蒸気噴射ノズル ○洗浄機本体との通信 【蒸気発生装置】 ○蒸気発生量：2～100kg/h 　※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意 ○用力：DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC ○蒸気圧力制御範囲：0.05-0.3MPa ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【基本構成】 ○金属汚染のない蒸気発生装置 ○超音速蒸気噴射ノズル ○洗浄機本体との通信 【蒸気発生装置】 ○蒸気発生量：2～100kg/h 　※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意 ○用力：DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC ○蒸気圧力制御範囲：0.05-0.3MPa ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【基本構成】 ○金属汚染のない蒸気発生装置 ○超音速蒸気噴射ノズル ○洗浄機本体との通信 【蒸気発生装置】 ○蒸気発生量：2～100kg/h 　※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意 ○用力：DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC ○蒸気圧力制御範囲：0.05-0.3MPa ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【基本構成】 ■蒸気発生装置 ■多連式蒸気噴射音速ノズル ■EFEM（搬送系） ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■ウエハ口径：50-150mmΦ ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：1200（W）×　1500（D）×2200（H） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【基本構成】 ■蒸気発生装置 ■多連式蒸気噴射音速ノズル ■エアーナイフ・温風乾燥 ■搬送系（マグネットローラー方式） ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■基板サイズ：126-156mm角対応 ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：2200（W）× 850（D）× 1500（H） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【基本構成】 ■搬送ロボット ■プラズマ処理装置 ■オゾン水処理装置 ■高濃度オゾン水発生装置 ■加熱ユニット 【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ（プラズマ処理1チャンバ、オゾン水1チャンバ） ■ウエハ口径：150, 200, 300mm対応 ■カセット数：2カセット ■用 力：DIW、N2、O2、CO2、CDA ■本体外形寸法：1100（W）× 2050（D）× 2000（H） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【基本構成】 ■金属汚染のない蒸気発生装置 ■単式蒸気噴射音速ノズル ■アルキメデス制御方式 ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ ■ウエハ口径：150,200mm対応 ■カセット数：2カセット ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：1100（W）× 1800（D）× 2000（H） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

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