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『ティンハンド』は、フィルムや箔材、紙をソフト吸着し、固定、 ハンドリングする自動機向け静電吸着ツールです。 大面積薄物を全面ソフト吸着するため、しわや傷発生がなく、 多孔質材のような穴開き品吸着も可能です。 また、対象物裏面電位は最少に抑えられ裏面へのごみ吸着はありません。 【特長】 ■大面積薄物を全面ソフト吸着 ■しわや傷発生がない ■多孔質材のような穴開き品吸着も可能 ■対象物裏面電位は最少に抑えられ裏面へのごみ吸着がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『静電チャックサポーター』は、極薄ワークを吸着保持して補強する 静電チャックキャリアです。 接着剤を使用せず、電界制御のみで、薄型ウェハーの補強・固定が可能。 コードレスの為、固定した状態で、さまざまなプロセスへの投入が可能で、 厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入できます。 【特長】 ■極薄ワークを吸着保持して補強 ■薄型ウェハーの補強・固定が可能 ■さまざまなプロセスへの投入ができる ■厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動(充電可)のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 【特長】 ■コードレスの為どこでも携帯可能 ■凸凹面のある対象物も吸着可能 ■電位は最小に抑えられる為、裏面のゴミ吸着はなし ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
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