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筑波精工株式会社

住所栃木県河内郡上三川町上蒲生字願成寺2168-10

電話0285-55-0081

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最終更新日：2017/01/05

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自動機搭載用静電チャック『ティンハンド』

【仕様】 ■対象物：導体～半導体～絶縁体 ■印加電圧：±2.0kV Max. ■動作環境：大気～真空結露なきこと 250℃Max. No condensation ■定格入力電圧：単相AC100-115V 50/60Hz ■平面度：20μm以下～ ■制御：専用コントローラ ■垂直保持力(±1kV時)：導体・半導体90gf/cm2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

その他

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静電チャックサポーター

【仕様(抜粋)】 ■対象物の材質：導体・半導体・絶縁体 ■サイズ：～□480mm、t:0.5mm～ ■制御：専用コントローラ ■動作環境：大気～真空 Atmosphere～vacuum 200℃Max. ■吸着動作時間：30sec程度 ■吸着解除時間：5sec以内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。