ガラス薄膜封止

リソグラス社（本社ドイツ・ベルリン）が開発したボロシリカ・ガラス封止技術によって、低温で非常に薄い膜をガラス基板、シリコン基板上に形成する技術を確立しました。 この技術を使い、ウエハーレベル・パッケージ（WLP）表面の保護、プリフォーム成形ガラスパッケージ、及びウエハーレベル・キャッピングに採用されています。 ボロシリカガラスは耐薬品性、低吸湿性、透明性、耐熱性にすぐれ、非常に硬く傷が付きにくい特徴を持っており、熱膨張係数もシリコンと同じです。 リソグラス技術でボロシリカガラスを数ミクロンから100ミクロンの厚みで、様々な表面に、なおかつ高精度の指定された箇所に密着させる事が可能です。