シナノ精機の製品・サービス一覧

成膜装置として、小型バッチ式スパッタリング装置「SPB-311型」を 制作した事例をご紹介いたします。 クライオポンプをメインポンプとしたクリーンな排気系で、 マグネトロンカソードを搭載。RF/DC電源の選択が可能です。 シナノ精機は協力会社の連携により、装置の設計からアフターサービスに至る ライフサイクルすべてをサポートしています。 【主な仕様】 ■クライオポンプをメインポンプとしたクリーンな排気系 ■マグネトロンカソードを搭載(最大3基) ■RF/DC電源の選択が可能 ■基板回転機構 ■全自動タッチパネルシーケンス、手動併設 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社による「設計製作装置」の制作事例をご紹介いたします。 多段式ストッカー付のロードロック式スパッタ装置・蒸着装置をはじめ、 量産用途、連続稼働に適したプラズマ処理装置や水分、酸素量管理などに 使用できる雰囲気制御装置を制作。 シナノ精機は協力会社の連携により、装置の設計からアフターサービスに至る ライフサイクルすべてをサポートしています。 【装置詳細(一部)】 ■ロードロック式スパッタ装置・蒸着装置 ・手動搬送/ローラー搬送 ・多段式ストッカー付 ■プラズマ処理装置 ・パイプ状ワークの表面をプラズマエッチング処理 ・量産用途 連続稼働 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社による「精密洗浄装置」の制作事例をご紹介いたします。 半導体のウエーハやハードディスク等精密部品の洗浄に使用される 枚様式で、パーティクルや薬液、金属などの汚染を洗浄。 ウエーハを1枚ずつ洗浄するため、多品種少量生産や高機能の洗浄に 適しています。 【製品仕様】 ■半導体ウェハ(SiC、GaN、シリコン、サファイア等)、MEMS ■ウェハ材質：SiC、Si、GaAs、GaN、ガラス、LT基板 ■ウェハサイズ：2～12インチ ■処理チャンバー数：1～4 ■薬液：最大2種類(オプション：3種類) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社は、半導体製造の洗浄工程において、スピン式洗浄方式を用いた 「精密洗浄装置」の開発及び製造を実施しました。 開発機及び量産機ともに設計から機械・電気組立及び調整、デバック、 検査、出荷、現地立ち上げを行いました。 また、必要な資料づくりや独自に検査表などの作成や検査治具の作成を行い、 量産化するためのサポートをしました。 【製作実績の概要】 ■半導体製造の洗浄工程において、スピン式洗浄方式を用いた 　精密洗浄装置の開発及び製造を実施 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社は、自動車製造の部品製作工程において、既存装置の性能向上の 要望があり「プラズマ処理装置」の設計・製造・組立を実施しました。 UV処理より強く、ブラストや研磨より弱い処理が可能。 細長いワークの加工に適し、小型でランニングコストが安くできます。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【製作実績の概要】 ■機械的な強度が弱いワークに加工可能 ■非接触処理により、ワークにダメージを与えない ■液体を使用しない ■金属だけでは無く樹脂にも加工可能 ■プロセスに必要なのはArガスと水のみ ■粉塵や廃棄物を出さない ■クリーンルームにも設置可能(真空ポンプは除く) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社は、医療機器製造の部品製作工程において、既存装置の更新及び 生産性向上の依頼があり「小型スパッタリング装置」の設計・製造・ 組立を実施しました。 協力会社との連携により、お客様のニーズに合わせた装置の設計から可能。 アフターサービスとして定期メンテナンスも可能となります。 また、アフターサービスの対応にご好評いただき、定期メンテナンスを 実施する事で装置の長寿命化を実現しております。 【製作実績の概要】 ■ファイバー表面にスパッタにて膜を付ける際に、真空下での成膜なので、 　不純物の付着等を防ぎ、より性能の良い製品を実現 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社は、民生用電気機器の部品製作工程において「真空ベーク装置」の 設計・製造・組立を実施しました。 製造装置メーカーからの組立作業を請け負い、機械及び 電気組立作業を行いました。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【製作実績の概要】 ■ディスプレイ製造ラインにて、真空下でワークを加熱処理する装置 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社は、半導体製造において「UV照射装置」の設計・製造・組立を 実施しました。 装置メーカーデモ機製作の依頼があり、機械及び 電気組立作業を行いました。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【製作実績の概要】 ■加熱低水分雰囲気下で近紫外線を照射するUV照射装置 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社は、半導体製造装置メーカーよりOEM生産の依頼があり、 「CVD装置」の機械及び電気組立を実施しました。 開発機及び量産機ともに製造に関わり、短期間での 製造・量産化での製造を実現。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【製作実績の概要】 ■量産対応300mmウェハプラズマCVD装置 ■低容量チャンバによるガス使用効率の向上 ■チャンバ間、ウェハ間での高い再現性 ■低coo ■メンテナンス性の向上 ■高い電力効率 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社で対応した質量分析装置の追加改造、機械及び電気の改造及び ソフト変更についてご紹介いたします。 大手電子部品製造メーカーより、真空チャンバ内の真空中における ガス質量分析がしたいとの事で、機械・電気及びソフト追加改造を実施。 改造後にトラブル無く、ご使用いただいております。 また、当社ではお客様のニーズに合わせた、設計から改造まで対応可能です。 【製作実績の概要】 ■質量分析装置の追加改造 ■機械及び電気の改造及びソフト変更 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社にて、高真空排気用ターボ分子ポンプ交換、機械及び電気の改造及び ソフト変更を実施しました。 長期使用による真空ポンプの能力低下に伴い、新規真空ポンプへの 交換の要望があり、仕様の違う真空ポンプに交換となりましたが、 交換部品及びコストを抑える事ができました。 改造後に部品起因のトラブルが発生しましたが、迅速対応し解決しましたので、 ご好評いただいております。 【製作実績の概要】 ■高真空排気用ターボ分子ポンプ交換 ■機械及び電気の改造及びソフト変更 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

検査装置メーカーがファブレスの為、装置組立の要望があり 当社にて「真空検査装置」の設計・製造・組立を実施しました。 RF MEMSデバイスや水晶振動子MEMSデバイスなど、真空環境での 動作を必要とするMEMSデバイスの、高低温(－60℃～＋300℃) オンウェハ測定可能な真空プローバ装置です。 装置構成はステージチャンバー、プロ―ビングチャンバー、プローブ マニュピレータ、退避機構、顕微鏡カメラ、排気ユニット、ガスライン、 制御部に分かれており、各操作は操作パネルからの操作が可能です。 【製作実績の概要】 ■高低温(－60℃～＋300℃)オンウェハ測定可能な真空プローバ装置 ■各操作は操作パネルからの操作が可能 ■真空装置を得意としているので、装置構成及び真空に関する 　設計から組立まで可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社は、半導体製造装置メーカーよりOEM生産の依頼があり、 機体配線を実施しました。 開発機及び量産機ともに機内配線及び機外配線を行いました。 また実体配線図等作成のための資料づくりや独自に検査表などの 作成や検査治具の作成を行い、量産化するためにサポート。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【製作実績の概要】 ■量産対応300mmウェハプラズマCVD装置 ■低容量チャンバによるガス使用効率の向上 ■チャンバ間、ウェハ間での高い再現性 ■低coo ■メンテナンス性の向上 ■高い電力効率 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

半導体製造装置メーカーよりOEM生産の依頼があり、 当社にてハーネス(電気配線)加工を実施しました。 ハーネス加工の簡素化などをご提案し、またハーネス検査用のソフトの 導入をし、量産化を実現。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【製作実績の概要】 ■量産対応300mmウェハプラズマCVD装置 ■低容量チャンバによるガス使用効率の向上 ■チャンバ間、ウェハ間での高い再現性 ■低coo ■メンテナンス性の向上 ■高い電力効率 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。