特許を取得し、新たな表面加工方法として大きな注目を集めている レーザーを用いた石定盤ステージのメンテナンス方法です。 ダイコータ等に使用される石定盤ステージは、使用を重ねると表面が 鏡面化していきます。 鏡面化すると、剥離帯電を起こし、静電気によるパターン破壊や 張り付きによるガラス基板の破損が発生します。 従来は、"ヤスリで削る" "帯電防止剤を塗布する" "引き剥がし速度を低下させる" など、様々な対策が行われてきましたが、 これらにはそれぞれの課題があります。 当社がご提案するレーザー研磨の技術は、これらの課題を解決し、 新たな表面加工方法として、大きな注目を集めています。 表面を削らないため定盤の平面度はかわらず、 また、削りカス(＝パーティクル)の発生懸念もありません。 さらに、作業時間も手研磨に比べ大幅に削減可能です。 【経験と強み】 ■静電気の貼り付き防止だけでなく、コーティングムラが発生しにくい 　加工パターンを提案 ■作業記録に基づく、お客様の定盤状態の管理