液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一性を実現し、実験・試作・少量生産など様々なシーンでご活用いただけます。 【当製品が選ばれるポイント】 ■コンパクトで導入しやすい ■企業や大学研究室等での実績多数 ■量産装置と同様のプロセスで、生産機検討を視野に入れた評価が可能 ■全面塗布、ストライプ塗布、ブロック塗布など用途に応じた塗布パターン ■最少50cc（配管容積15cc）の材料より塗布可能（LC-R300G) ■酸素、水分などをコントロールした環境下での塗布実験が可能（LC-R300G、オプション） ■減圧乾燥装置、ホットプレート焼成装置もご用意（オプション） 下記「PDFダウンロード」より、まずは製品カタログをご覧下さい。

『マルチコータ LC-Mシリーズ』は、ナノレベルの薄膜から厚膜まで 各種塗布材料に対応し、自動機構成にも対応できるマルチで高機能な スリット式塗布装置です。 自動機として、上下流プロセス装置とのインラインや、 LD/ULDとのインターフェースに対応。 各種プロセスに対応できるフレキシブルな装置構成が可能なので、 実験・少量生産に好適です。 【特長】 ■各種プロセスに対応できるフレキシブルな装置構成が可能 ■高精度な塗布均一性を実現 ■段取り替え不要 ■多種多様の配管系統を準備でき、ご要望の膜厚・均一性を実現 ■全面塗布のほか、ストライプ塗布、間欠塗布、ブロック塗布も可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『RT-Rシリーズ』は、高粘度材料の厚膜塗工から低粘度材料の 薄膜塗工まで、ロールtoロールで実現した塗工乾燥装置です。 優れた塗工技術を高精度WEB搬送技術と融合。 全固体電池や各種二次電池をはじめとした 様々な用途の研究・開発から量産試作まで 幅広いニーズに対応します。 【特長】 ■ディスプレー製造装置で培った高精度塗布技術を応用 ■低粘度から高粘度材料まで精密に塗工 ■乾燥は熱風炉に加え、プッシュプル方式の搭載も可能 ■連続塗工、ストライプ塗工、間欠塗工など塗工パターンの選択が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『VC-R400G』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、ガラス、金属などの平板基材に超高速、高品質な真空成膜を実現するプラズマCVD装置です。 実験・研究・評価・試作に好適。LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)使用により、高速/高精度/低ダメージ真空成膜を実現。 多点制御により、より細かな均一性を確保。 手動、自動、オプションも多彩です。 【特長】 ■実験・研究・評価・試作に好適 ■高速/高精度/低ダメージ真空成膜を実現 ■LIAの多点制御により、より細かな均一性を確保 ■従来比5倍以上の超高速成膜を実現 ■多彩なオプションをご用意 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『VS-R400G』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、 超高速、高品質な真空成膜を実現するスパッタ装置です。 LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)によるアシスト効果により、 成膜速度を落とすことなくダメージを低減し、高品質な成膜を実現。 また、高密度プラズマの特性を活かし、反応性スパッタにも 対応可能です。 【特長】 ■実験・研究・評価・試作に好適なスパッタ装置 ■成膜速度を落とすことなくダメージを低減し、高品質な成膜を実現 ■高密度プラズマの特性を活かし、反応性スパッタにも対応可能 ■ロータリーカソードを搭載することで、成膜速度の高速化が可能 ■生産機への展開が容易 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『VA-R400G』は、薬液塗布後の基材を減圧状態にして 乾燥を促進させる減圧乾燥装置です。 基板支持ピンは任意の位置に設置でき、段階的に真空圧力を 変化させ減圧処理する事でムラや発泡を抑制可能。 また、装置内に真空ポンプ・電装BOX・操作パネルを集約した 省スペース設計となっております。 【特長】 ■装置内に真空ポンプ・電装BOX・操作パネルを集約した省スペース設計 ■10Pa以下の減圧処理が可能 ■基板支持ピンは任意の位置に設置可能 ■段階的に真空圧力を変化させ減圧処理する事でムラや発泡を抑制可能 ■圧力波形モニタリング機能を搭載可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社グループであるSCREENフェバックス独自の設計により、温度再現性、面内の温度均一性は高い性能を誇ります。 液晶市場向けコーターデベロッパーシリーズにインラインされている 焼成ユニットを異業界に展開。 手動実験機から量産機、小サイズから大サイズのワークまで、 好適な仕様をご提案。お客様のご要望に合わせた装置を製作します。 【特長】 ■省スペース化 ■低発塵対応 ■高い温度再現性、面内温度均一性 ■お客様のご要望に合わせた装置製作 【仕様】 ■温度性能　：　0-200℃ ■温度精度　：　150℃±3℃ ■ワークサイズ　：　4～12インチウエハ ■方式　：　ホットプレート方式（基板支持：プロキピンorリフトピン）

「手動式ホットプレート焼成装置」は、実験ラボに好適な製品です。 基材下部から熱を与えることにより基材上部の塗布材料、水分等を 均一に乾燥。基材支持用ピン、基材取り外し用リフトアップ機構を 搭載できます。 また、ホットプレート表面はフラットなのでピン等によるムラの発生が ないです。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■実験・研究に好適な小型サイズ ■ホットプレート表面はフラットなのでピン等によるムラの発生無し ■基材支持用ピン、基材取り外し用リフトアップ機構を搭載可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『MA-1000シリーズ』は、多品種小ロット生産や実験・研究に好適な 手動式露光装置です。 ソフトコンタクト露光と、プロキシミティ露光を採用可能。 また、用途と基板サイズに合わせて超高圧水銀ランプ、各種ミラー、 特殊レンズを好適に組み合わせた光学系を準備いたします。 【特長】 ■ソフトコンタクト露光と、プロキシミティ露光を採用可能 ■独自のミラー・レンズ光学系を採用した面内均一照明 ■多層露光が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『VC-R400F』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、樹脂フィルムや金属箔への超高速、高品質な真空成膜を実現するプラズマCVD装置です。 実験・研究・評価・試作に好適。LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)使用により、高速/高精度/低ダメージ真空成膜を実現。 多点制御により、より細かな均一性を確保。 手動、自動、オプションも多彩です。 【特長】 ■実験・研究・評価・試作に好適 ■高速/高精度/低ダメージ真空成膜を実現 ■LIAの多点制御により、より細かな均一性を確保 ■従来比5倍以上の超高速成膜を実現 ■多彩なオプションをご用意 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一性を実現し、実験・試作・少量生産など様々なシーンでご活用いただけます。 【当製品が選ばれるポイント】 ■コンパクトで導入しやすい ■企業や大学研究室等での実績多数 ■量産装置と同様のプロセスで、生産機検討を視野に入れた評価が可能 ■全面塗布、ストライプ塗布、ブロック塗布など用途に応じた塗布パターン ■超少量シリンジポンプで最少50cc（配管容積15cc)の塗布材料より実験可能 ■環境チャンバ（オプション）に設置すれば、酸素、水分などの環境コントロールが可能 ■減圧乾燥装置、ホットプレート焼成装置もご用意（オプション） ★下記「PDFダウンロード」より、まずは製品カタログをご覧下さい。

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一性を実現し、実験・試作・少量生産など様々なシーンでご活用いただけます。 【当製品が選ばれるポイント】 ■小型で導入しやすい ■企業や大学研究室等での実績多数 ■量産装置と同様のプロセスで、生産機検討を視野に入れた実験・評価が可能 ■全面塗布、ストライプ塗布、ブロック塗布など用途に応じた塗布パターン ■減圧乾燥装置、ホットプレート焼成装置もご用意（オプション） ★下記「PDFダウンロード」より、まずは製品カタログをご覧下さい。